《用于完全集成氮化硅光子学的高性能激光器》

  • 来源专题:光电情报网信息监测服务平台
  • 编译者: husisi
  • 发布时间:2021-11-26
  • 氮化硅光子学是近年来新兴的研究领域,因为与传统硅基或InGaAsP基波导相比,最新的光子器件必须有更好的性能。作为一种完全兼容CMOS的材料,SiN基波导具有低光传输损耗、从可见光到红外波长透明度宽、低热光系数、无非线性吸收损耗等特点,从而形成了芯片尺度非线性光子学、高保真集成微波光子学系统和超宽带集成光子电路的主干。因此,基于SiN的光子元件得益于其材料优越的无源特性,代表了集成光子学的最先进的性能,包括频率梳发生器、光学陀螺仪、射频滤波等等。

    然而,由于与有源器件(包括激光器、调制器、放大器和光电探测器)的集成非常困难,SiN光子学在很大程度上被限制在独立组件级别。首先,SiN作为介质材料,缺乏有效载流子辐射复合或电光效应的直接能带,而这两者分别是激光器和调制器的基础。此外,SiNx在通讯波长(1.55 μ m)处的折射率约为2(这取决于硅含量),这种低折射率材料在通过直接异质III-V/SiN集成与主动III-V增益材料集成时存在很大困难,类似于异质III-V/Si集成,但在光学互连应用中取得了成功。

    近日,美国加州大学圣巴巴拉分校的John E. Bowers教授团队报导了高性能的SiN激光器,通过SiN波导和亚KHz基线宽度输出数十毫瓦的功率,解决了上述所有问题。他们还表明,利用开发的集成技术可以实现Hz级基本线宽激光器。这些激光器,连同高Q SiN谐振器,标志着一个完全集成的低噪声氮化硅光电平台的里程碑。这种激光器在激光雷达、微波光子学和相干光通信等领域具有广泛的应用前景。相关工作发表在《NATURE COMMUNICATIONS》上。

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    • 美国加州大学圣巴巴拉分校的研究人员综述了采用异质集成的高性能硅光子学最新进展,重点介绍了超低损耗波导、单波长激光器、梳状激光器和光子集成电路,包括用于激光雷达的光学相控阵和用于数据中心互连的光收发器。相关研究发表在《IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics》上。 在过去的五十年中,大多数电信、数据通信和传感器系统都依赖于单独的光学组件,例如激光器、调制器和光电探测器。最近,集成光子学由于其在尺寸、重量、成本和功耗方面的优势已经商业化。光子集成电路 (PIC) 的性能很大程度上取决于所采用的集成平台。硅光子学利用已经相当成熟的 CMOS 设备来量产低成本的光子元件,同时具有低损耗和紧凑波导等特性,比基于 III-V 的器件具有内在优势。硅光子调制器、光电探测器和无源器件可通过基于单片绝缘体上硅 (SOI) 波导结构进行制造。异质集成技术是一个关键的推动者,它不仅提供了原生Si衬底上不存在的光学增益,而且能够在芯片上实现完整的光子功能,也为多功能集成光子器件性能工程奠定了基础。 这里,研究人员介绍了异质硅光子器件和集成电路的最新进展。高设备性能和高集成度使其在通信、互连和传感器领域的应用得以实现和扩展。异构集成的关键指标是接近或超过单片集成或者混合集成。优化后的有源和无源的异构集,为性能优于离散光学元件的全新设备开辟了新的机会。窄线宽激光器就是证明这种优越性的一个典型例子。对于单片激光器,线宽增强因子 αH 是决定因素,因此,量子点激光器可以实现比量子阱激光器更窄的线宽。混合集成和异构集成,利用分别优化的有源和无源器件,可以实现超窄线宽。在这种情况下,超低损耗 SiN 无源波导占据了最佳性能。基于扩展光栅的外腔、环形谐振器的外腔和具有超高 Q 值的自注入锁定在内的多种方法,都提供了不同的激光操作和对比的激光线宽缩减率。现设计的优化非均匀III-V/Si宽可调谐激光器线宽已经比使用大型外腔的商用外腔二极管激光器(ECDLs)有着更好的表现。与混合集成类似,集成的超高 Q SiN 环形谐振器有望进一步降低激光噪声。异质集成硅光子已经在包括可见光、中-红外(中红外)的各领域发挥着重要的作用。 总体而言,异质集成硅光子电路的商业化正在迅速发展,与电子设备的紧密集成是下一代高带宽数据中心网络交换机的关键推动力。可靠、窄线宽和高通道数的异质激光源很可能在下一阶段发挥关键作用,这是异质集成硅光子相对于其他平台的一个显着优势。
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    • 编译者:husisi
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    • 近日,来自洛桑联邦理工学院(EPFL)的研究人员开发了一种芯片集成的掺铒波导激光器,这一新型激光器的性能接近光纤激光器的性能,结合了可调谐性和芯片级光子集成的实用性。 众所周知,光纤激光器使用掺杂稀土元素的光纤作为增益介质。因此与二氧化碳等气体激光器相比具备了高光束质量、高功率、高效率、尺寸小以及光纤输出与柔性加工平台的无缝融合等优势。 而为了满足对芯片级光纤激光器的需求,研究人员转向铒作为增益介质。铒基光纤激光器满足保持高相干性和稳定性的要求而特别有前景。但长期以来,由于难以保持其特有的高性能,铒基光纤激光器小型化一直难以实现。 为此,研究人员首先基于超低损耗氮化硅光子集成电路构建了一米长的片上光腔。洛桑联邦理工学院光子学和量子测量实验室的研究员Yang Liu认为:尽管芯片尺寸紧凑,但我们能够将激光腔设计为米级长度,这要归功于这些微环谐振器的集成,这些谐振器有效地扩展了光路,而无需物理放大器件。 重大突破!芯片大小的激光器或将取代光纤激光器? 然后,该团队在电路中植入了高浓度的铒离子,以选择性地产生激光所需的有源增益介质。最后,他们将电路与III-V族半导体泵浦激光器集成在一起,以激发铒离子,使它们能够发光并产生激光束。 为了改进激光器的性能并实现精确的波长控制,研究人员设计了一种创新的腔内设计,其特点是基于微环的游标滤光片,这是一种可以选择特定频率光的滤光片,以提高激光器的性能并实现精确的波长控制。 该滤光片允许在C波段和L波段内对40 nm的激光波长进行动态调谐,这在调谐和低光谱杂散指标方面都超过了传统的光纤激光器,同时保持与当前半导体制造工艺的兼容性。该设计支持稳定的单模激光,固有线宽为50Hz。 芯片级铒基光纤激光器的输出功率超过10 mW,侧模抑制比大于70 dB,性能优于许多传统激光器。其窄线宽使其能够发出纯净而稳定的光,非常适合传感、陀螺仪、激光雷达和光学频率计量等相干应用。 将铒光纤激光器缩小并整合到芯片级设备中可以使其变得更加经济实惠,为消费电子、医疗诊断和电信领域高度集成的移动系统开辟新的应用。它还可以缩小其他几个应用中的光学技术,包括激光雷达、微波光子学、光频率合成和自由空间通信。