《EpiWorld为Aixtron AIX G5 WW C系统提供了生量提升的资格认证》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: Lightfeng
  • 发布时间:2020-12-20
  • 德国沉积设备制造商Aixtron SE表示,其新的SiC平台AIX G5 WW C已通过纯碳化硅(SiC)外延晶圆代工厂EpiWorld International Co Ltd的资格认证,可在中国厦门的新生产区大批量生产SiC外延产品。piWorld是一家私营的中日美合资企业。气相外延(VPE)工具是Aixtron最新的8x150mm SiC行星反应器平台。

    EpiWorld的目的是进一步扩大其生产能力,以满足客户不断增长的需求。该公司已经完成了用于制造650V、1200V和1700V功率器件的4英寸和6英寸SiC外延晶片生产线。新近建成的制造中心为6英寸外延晶片生产提供了空间,每年产量可以扩展至40万个,EpiWorld目前的年产能超过6万个。

    EpiWorld总经理Gan Feng博士说:“近年来,汽车领域的众多参与者评价EpiWorld为功率器件SiC外延片的领先供应商,这说明我们在最具挑战性的行业之中拥有强大的地位。我们依靠Aixtron成熟的系统技术,并准备通过AIX G5 WW C系统进行SiC外延组件的大批量生产。”

    Aixtron的AIX G5 WW C系统中的SiC Epi反应器具有单晶片系统的性能优势又有多晶片反应器的成本优势,该系统能以最低的生产成本保证EpiWorld的最高生产量,同时实现了优良的生产质量。

    Aixtron电力电子市场副总裁Frank Wischmeyer博士说:“我们很高兴与EpiWorld合作,借助新型SiC平台提高产量,以加速碳化硅的进一步商业化。我们相信EpiWorld能够很好地满足中国汽车行业及其他地区对SiC功率器件快速增长的市场需求。 EpiWorld扩大的产量将有助有电动汽车、可再生能源等众多高端电力电子应用的发展。”

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    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:Lightfeng
    • 发布时间:2021-04-09
    • 德国的沉积设备制造商爱思强(AixtronSE)表示,该公司已向美国一家一级LED制造商提供了AIX G5 + C金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,该系统可以符合和满足微型LED制造业严格的要求。 Aixtron指出,下一代LED显示器需要将数百万个微米大小的LED转移到单个显示器上,这迫使LED供应商开发新的传质技术。为此,直接从已处理的LED芯片中取出LED阵列,以防止任何有缺陷芯片的前期晶圆装箱或分类。该公司补充说,至关重要的是,所生产的所有外延晶片都必须具有非常紧密的波长分布,并且还需要具有非常低的表面缺陷水平,因此需要创新的MOCVD方法。 因此,Aixtron的AIX G5 + C系统结合了紫外线(UV)高温测定法,在外延过程中使用晶片级的薄膜表面温度控制。这可以非常精确地控制铟掺入多量子阱(MQW)中,从而最终决定所生产晶圆之间波长的一致性。盒到盒转移模块与原位清洗相结合,有助于确保在处理或外延过程中没有颗粒污染胶片。 总裁Bernd Schulte博士说:“我们期待着进一步加micro-LED的推广,Micro-LED技术正在颠覆现有的LED市场的平衡,我们的AIX G5 + C平台完全满足了对Micro LED制造上日益严格的波长均匀性要求。” 高级评论员产品营销经理Arthur Becker表示:“Micro-LED技术是显示行业的颠覆者,明显优于现有的液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)技术,特别是在节省功耗方面,同时具有出众的像素密度、对比度和亮度,这将为消费类移动产品以及高级电视显示器开辟新的视野。”
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    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:Lightfeng
    • 发布时间:2018-11-24
    • 德国的Herzogenrath沉积设备制造商Aixtron SE将向中国的InnoScience Technology Co Ltd提供多个AIX G5 + C MOCVD系统,用于开发氮化镓(GaN)功率器件。在高频率下具有高性能的Aixtron集群工具都将采用5x200mm晶圆配置,并将于2019年第二季度发货。 与传统的硅基功率芯片相比,GaN功率器件具有非常低的传导损耗、开关损耗和断态损耗,这是因为其拥有更高的击穿强度,更快的开关速度,更高的导热性和更低的导通电阻。 Aixtron表示AIX G5 + C平台可以展示其在制造方面的优势,因为它可实现外延晶圆的可扩展工艺,紧密均匀性和颗粒控制,以实现最高产量和最大吞吐量,并且成本低。 InnoScience首席执行官Jay Son表示:“我们选择了AIX G5 + C,因为它具行星级反应堆概念的卓越性能,新收购的系统将使我们能够提高我们的高端产品的制造能力。”