德国的沉积设备制造商爱思强(AixtronSE)表示,该公司已向美国一家一级LED制造商提供了AIX G5 + C金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,该系统可以符合和满足微型LED制造业严格的要求。
Aixtron指出,下一代LED显示器需要将数百万个微米大小的LED转移到单个显示器上,这迫使LED供应商开发新的传质技术。为此,直接从已处理的LED芯片中取出LED阵列,以防止任何有缺陷芯片的前期晶圆装箱或分类。该公司补充说,至关重要的是,所生产的所有外延晶片都必须具有非常紧密的波长分布,并且还需要具有非常低的表面缺陷水平,因此需要创新的MOCVD方法。
因此,Aixtron的AIX G5 + C系统结合了紫外线(UV)高温测定法,在外延过程中使用晶片级的薄膜表面温度控制。这可以非常精确地控制铟掺入多量子阱(MQW)中,从而最终决定所生产晶圆之间波长的一致性。盒到盒转移模块与原位清洗相结合,有助于确保在处理或外延过程中没有颗粒污染胶片。
总裁Bernd Schulte博士说:“我们期待着进一步加micro-LED的推广,Micro-LED技术正在颠覆现有的LED市场的平衡,我们的AIX G5 + C平台完全满足了对Micro LED制造上日益严格的波长均匀性要求。”
高级评论员产品营销经理Arthur Becker表示:“Micro-LED技术是显示行业的颠覆者,明显优于现有的液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)技术,特别是在节省功耗方面,同时具有出众的像素密度、对比度和亮度,这将为消费类移动产品以及高级电视显示器开辟新的视野。”