《日本AIST开发出世界最高精度比较和控制多个硅量子点产生微电流的技术》

  • 来源专题:计量基标准与精密测量
  • 编译者: 李晓萌
  • 发布时间:2024-01-24
  • 近日,日本产业技术综合研究所(AIST)物理测量标准研究部门量子电气标准研究小组主任研究员、物理测量标准研究部门首席研究员,与日本电信电话株式会社特别研究员共同为了实现量子电流标准,成功地在多个量子点元件中产生了不确定性小的电流。

    电流由每秒流过的电子数决定大小。在这项技术中,通过纳米加工制作的尺寸为数十纳米(纳米为1的10亿分之一)左右的单一电子元件硅量子点,“一粒一粒”控制电子。本次实验组精密控制了两个不同的硅量子点,每秒钟携带10亿个电子产生微小电流。其结果,不管元件的不同,成功地产生大小一致的恒定电流,2个电流值为电流整体的4×确认了10-7以下的相对不确定性一致(这意味着在各元件每秒携带的10亿个电子中,元件间的差异只有400个)。另外,通过将两个硅量子点并列组合,在保持相同程度的不确定性的情况下,也成功地产生了2倍的电流,确立了作为量子电流标准所需的电流范围的扩展技术。这个精密的电流发生技术和电流比较技术作为纳米安培以下的微小电流测量的“标准”有用,为半导体微细加工和化学测量,放射线测量等电流测量高精度化贡献。

    该技术的详细情况于2023年12月20日发表在《Nano Letters》期刊中。

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    • 来源专题:计量基标准与精密测量
    • 编译者:李晓萌
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    • 近日,日本NTT公司和国家高级工业科学技术研究所(AIST)通过使用量子点成功创造稳定可靠的电流,在开发量子电流标准方面迈出了一步。这项研究通过确保微观世界的基本规则是一致的,并可用于同时为更多设备供电,从而提高当前的比较和乘法技术,从而对改进精确测量技术具有重要意义。这项研究涉及高级研究工程师(AIST)Shuji Nakamura、首席研究员Nobuhisa Kaneko、高级特聘研究员(NTT)Akira Fujiwara和特聘研究员Gento Yamahata之间的合作。 这项研究发表在美国化学学会出版的同行评审科学期刊《Nano Letters》上,可以在这里访问:具有百万分之一水平不确定性的太赫兹操作硅泵的普遍性和倍增性。 超精密测量技术在微制造、物理和化学等领域越来越重要。为了测量这些电流,使用了“电流标准”。如量子霍尔电阻标准和约瑟夫逊电压标准所示,该标准是通过利用量子力学现象连接电阻器和电压源来实现的。 这些标准通过欧姆定律联系在一起。然而,挑战在于,随着电流变小,测量的相对不确定性增加。这是精确测量的一个问题,尤其是对于纳安或更小的测量。NTT和AIST致力于应对这一挑战。这项研究和开发得到了日本科学促进会(JSPS)以及使用单电子控制开发量子标准和极限测量技术的支持。 NTT和AIST专注于单电子器件和精确电流测量技术,以对小电流进行精确测量。与此同时,NTT正在使用硅量子点2制定当前标准,开发最准确的电流产生技术。在这项研究中,他们将NTT的硅量子点器件与AIST的精密电流测量技术相结合。他们比较了两个独立的硅量子点通过的电流,并首次在全球范围内证实,这两个量子点的不确定性约为4×10^-7。通过将两个电流相加,他们成功地将电流增加了一倍,同时保持了较小的不确定性。这种精确的电流产生技术和电流比较技术将成为纳米安培以下微小电流测量的“标准”,并有助于提高半导体微制造、化学测量和辐射测量中的电流测量精度。 为了进行这项研究,NTT和AIST的科学家使用先进的微制造技术制造了两个微小的硅量子点(元素A和元素B),每个量子点的尺寸都只有几十纳米。这些装置是在NTT制造的,精确的电流测量是在AIST进行的。为了产生电流,首先向两个栅极施加负电压,在硅导线中产生量子点。然后,通过向其中一个栅电极施加正电压,硅线中的能垒降低,将电子引导到量子点中。通过调整电压,一系列操作不断地一个接一个地转移电子,产生电流。实验中显示的实际结果揭示了一个区域(电流平台),在该区域中,尽管电压发生变化,电流仍保持恒定。 NTT公司(NTT)和国家高级工业科学技术研究所(AIST)的合作代表了量子电流标准发展的重大进展。通过成功地利用硅量子点来产生稳定可靠的电流。研究人员解决了精确测量技术方面的挑战,特别是对于极小电流。这一成就不仅确保了微观世界基本规则的一致性,还具有同时为多个设备供电的潜力,为当前比较和乘法技术的进步铺平了道路。
  • 《日本产业技术综合研究所(AIST)利用在异质基板上生长的金刚石晶体成功开发出高灵敏度量子传感器》

    • 编译者:张宇
    • 发布时间:2025-03-26
    • 由东京科学大学(Science Tokyo)工学院电气电子系的波多野睦子教授和岩崎孝之教授、产业技术综合研究所先进功率电子研究中心的牧野俊晴研究团队长和加藤宙光高级主任研究员,以及信越化学工业株式会社精密功能材料研究所的野口仁首席研究员组成的文部科学省光·量子飞跃旗舰计划(Q-LEAP)团队,成功在异质(非金刚石)基板上异质外延生长出金刚石层,并制备出具有适用于量子传感器的晶体取向和相干时间的量子级(直径超过10毫米)的金刚石晶体基板。此外,我们还开发了一种使用相同基板的金刚石量子传感器,并通过应用精密对准技术,证明了该传感器具有抗噪声能力强、精度高(10毫安)的电流测量能力,可满足电动汽车中电池监测系统的需求。 在所有金刚石晶体中,基于NV中心的金刚石晶体量子传感器是一种坚固耐用的传感器,具有高灵敏度和宽动态范围,并可在包括宽温度范围在内的各种外部环境中工作,是一种多模态传感器,能够同时测量磁场、电场、温度、压力等数据。作为一款高精度传感器,世界上对它的研发正在加速推进。然而,此前由于制造方法的限制,用于量子传感器研发的金刚石晶体基板只能实现几毫米的外延生长。 这项研究通过异质外延CVD生长方法,证明了增加金刚石晶体基板外延生长面积并将其应用于高灵敏度量子传感器制造的可能性。这种新方法有望加速量子传感器在生物识别测量等医疗应用和电动汽车电池监测系统等能源监测产品中的应用。 金刚石作为一种量子材料,具有很大的应用潜力。研究小组一直在研究基于金刚石晶体的量子传感器应用,其中原本应为碳(C)的位置被氮(N)取代,且其相邻位置存在空位(V)的空位复合体(NV中心)。使用NV色心的金刚石量子传感器的特点之一是其稳健性,可在较宽的温度和压力范围内在宽动态范围内稳定运行,并且具有同时测量磁场、电场、温度和压力等物理特性的多模态能力。 到目前为止,用于金刚石量子传感器制造的人造金刚石晶体基板一直采用高温高压法(HPHT法)或高温高压法在金刚石晶体上进行同质外延CVD生长的方法(CVD法)获得。然而,由于原始晶体尺寸的限制,使用这种方法只能获得几毫米尺寸的基板。从工业量产的角度来看,就像半导体器件使用的晶体基板一样,直径越大,同时形成的数量就越多,预计实际量产中晶体基板的面积会更大。 在追求大面积化的过程中,由于硅基板、碳化硅基板和蓝宝石基板等已经能够实现工业量产且尺寸超过英寸级别,因此在这些非金刚石异质基板上生长金刚石晶体层的异质外延生长技术的开发也一直进行着,并且已经发布了英寸级别的产品。然而,到目前为止,异质外延生长尚未获得具有适用于量子传感器规格(111)的大面积晶体基板,并且相干时间也仅为最大几微秒的量级。因此,作为量子传感器的实际应用仅限于通过高温高压法或同质外延生长法生产的金刚石晶体基板。 实现具有生物相容性和宽动态范围的,能够在常温大气中工作的,直径超过10毫米的大面积金刚石量子传感器,这不仅扩展了其应用可能性,还提高了工业量产率。 预计这将加速其在医疗行业中的应用,例如生物识别测量和能源设备应用。例如,目前仅在大型医院提供的高精度生物磁性测量将有望在普通诊所中实现,预计电动汽车电池的使用效率将显著提高,且电池重量有望减少10%。 在文部科学省的光·量子飞跃旗舰计划(Q-LEAP)“通过固体量子传感器的高级控制创造创新传感器系统”的项目中,进一步推进了其在医疗应用方面的目标,即无需大型屏蔽设备或冷冻机即可使用,以及在能源设备应用方面,使其能够安装在电动汽车等各类新能源设备上。 此外,通过QST/SIP合作方式创立的固态量子传感器联盟,将加速该技术在企业内部的推广。 这项研究得到了日本文部科学省的光·量子飞跃旗舰计划(Q-LEAP)“通过固态量子传感器的高级控制创造创新传感器系统”(JPMXS0118067395)的支持。 该技术的详细信息已于2025年1月18日发表在《Advanced Quantum Technologies》期刊中。(DOI:10.1002/qute.202400400)