《Umicore开发出适用VCSEL应用的6英寸锗晶圆》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: Lightfeng
  • 发布时间:2020-11-07
  • 全球领先锗产品和材料解决方案供应商Umicore光电材料(EOM)表示已经领先的商业和学术合作伙伴合作,共同开发出用于垂直腔表面发射激光器的6英寸锗晶片。光电物质(EOM)是锗物质在全球的最重要的生产者。重要的产品包括太阳光电和LED,光电原料和柔性光电测试组以及用于夜晚视觉应用的光学部件。

    VCSEL是电信和3D传感器系统中的关键组件。VCSEL市场应用主要是高功率跟高速两大类,包括光通信、3D传感、面部识别系统、车载激光雷达、自动驾驶汽车的舱内感应、高速数据中心基础架构、移动手机上的光检测和测距(LiDAR)飞行时间传感器等,应用范围相当广泛。为了增加这些传感器的工作距离,VCSEL阵列的尺寸不断增长,但是同时成本也在上涨,这是从砷化镓(GaAs)过渡到锗晶片的推动力之一。

    市场和业务开发总监Bendix De Meulemeester说:“对于要求非常严格的应用,例如VCSEL,与GaAs晶片相比,无缺陷的6英寸锗晶圆具有明显的性能和工艺成本优势,优美科在开发无缺陷的低电阻率6英寸锗晶圆上已经投入了多年的研究,目前这些晶片正在进行鉴定。随着VCSEL供应链的加速发展,在未来几年内产量有望增加。”

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    • 美国晶体技术有限公司(简称AXT),位于美国加利福尼亚州弗里蒙特市,公司主要从事包括砷化镓、磷化铟等在内的Ⅲ-Ⅴ族化合物及单晶锗半导体衬底材料的制造。该公司已开发出第一批直径为8英寸的GaAs衬底,并将其交付给主要客户。8英寸GaAs晶圆使用的是掺硅的n型衬底,具有低刻蚀坑密度(EPD)和低水平滑移线。 首席执行官莫里斯·扬(Morris Young)说:“对于AXT而言,这是一项重大成就,也是一个重要的里程碑。直径尺寸的每增加一点,都会带来极大的技术难度。但是,AXT一直是该领域的领跑者,以不屈的精神来推动创新,释放新应用程序的潜力。此外,我们第一批晶圆的材料质量证明了我们对卓越的追求,以及VGF(垂直梯度冻结)晶体生长工艺的差异化。我们很高兴能够在可扩展性、低压力和低缺陷率方面为客户提供良好的解决方法” AXT表示,由于市场的发展引起了多个客户的关注,比如用于3D传感器和光检测和测距(LiDAR)的垂直腔表面发射激光器(VCSEL),以及用于显示的微型LED。AXT预测,当采用这些应用时,对8英寸GaAs晶片的需求范围将扩大。 Young说:“尽管我们仍在进行该项目的开发,但我们已经在定兴和喀左设立了世界一流的新制造工厂,这可以实现8英寸砷化镓晶片的商业化。AXT的两个新设施工厂经过专门设计和建造,利用先进的设备和自动化技术来大批量生产化合物半导体衬底晶片。此外,在设计新设备时已考虑到将来需要扩大制造量,AXT认为,我们有捷径可以来开发8英寸GaAs基板的大批量生产线。”