美国晶体技术有限公司(简称AXT),位于美国加利福尼亚州弗里蒙特市,公司主要从事包括砷化镓、磷化铟等在内的Ⅲ-Ⅴ族化合物及单晶锗半导体衬底材料的制造。该公司已开发出第一批直径为8英寸的GaAs衬底,并将其交付给主要客户。8英寸GaAs晶圆使用的是掺硅的n型衬底,具有低刻蚀坑密度(EPD)和低水平滑移线。
首席执行官莫里斯·扬(Morris Young)说:“对于AXT而言,这是一项重大成就,也是一个重要的里程碑。直径尺寸的每增加一点,都会带来极大的技术难度。但是,AXT一直是该领域的领跑者,以不屈的精神来推动创新,释放新应用程序的潜力。此外,我们第一批晶圆的材料质量证明了我们对卓越的追求,以及VGF(垂直梯度冻结)晶体生长工艺的差异化。我们很高兴能够在可扩展性、低压力和低缺陷率方面为客户提供良好的解决方法”
AXT表示,由于市场的发展引起了多个客户的关注,比如用于3D传感器和光检测和测距(LiDAR)的垂直腔表面发射激光器(VCSEL),以及用于显示的微型LED。AXT预测,当采用这些应用时,对8英寸GaAs晶片的需求范围将扩大。
Young说:“尽管我们仍在进行该项目的开发,但我们已经在定兴和喀左设立了世界一流的新制造工厂,这可以实现8英寸砷化镓晶片的商业化。AXT的两个新设施工厂经过专门设计和建造,利用先进的设备和自动化技术来大批量生产化合物半导体衬底晶片。此外,在设计新设备时已考虑到将来需要扩大制造量,AXT认为,我们有捷径可以来开发8英寸GaAs基板的大批量生产线。”