《RENA推出单晶圆处理系统,用于湿法工艺,如清洁、蚀刻和剥离》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: Lightfeng
  • 发布时间:2020-06-27
  • RENA Technologies推出Inception单晶圆平台,将其从湿法处理平台产品组合中扩展出来,该平台在研发到生产过程中起过渡作用,并能够处理所有半导体湿法工艺,例如清洁、蚀刻、剥离并干燥。

    第一个Inception产品已经交付给主要的化合物半导体客户,该客户将在酸洗工艺中利用其功能。

    RENA Technologies NA的首席执行官Ed Jean说:“如果您只有一把锤子,那么一切就像钉子一样。批量浸入、喷涂和单晶圆工具在湿法工艺领域都占有一席之地。但是,大多数设备供应商都提供了一种万能的方法,试图将您的应用程序“锤碎”到他们提供的唯一平台中。通过将Inception单晶圆工具添加到RENA的产品阵容中,RENA为任何湿法清洁,蚀刻或剥离应用提供了合适的平台。”

    RENA Technologies NA Spray产品经理Heath Phillips说:“ Inception单晶片平台为的客户提供了测试的一致性,以开发记录过程并使流程自动化。”

    Inception单晶片工具的功能包括:

    FEoL线前端(酸)和BEoL线后端(溶剂)加工应用;

    自动晶圆处理(手动加载可选);

    直径最大为200mm的晶片和最大宽度为7 x 7的掩模;

    带有独立化学生产线的双移动喷雾臂;

    用于DI和N2的固定式底部喷嘴;

    蚀刻均匀性超过批处理系统;

    标准双槽设计,提供多步处理(4槽可选);

    单或双负载端口;

    公用事业消耗低;

    占地面积小,36英寸宽x 83英寸高x 76英寸长;

    高度灵活的软件可实现快速的流程开发。

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