《富士胶片和住友化学拟于2021年供应新型EUV光刻胶》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: shenxiang
  • 发布时间:2020-10-16
  • 据日经亚洲评论报道,富士胶片 (Fujifilm Holdings)和住友化学(Sumitomo Chemical)最早将于2021年开始供应用于下一代芯片制造的光刻胶,该材料可能有助于让智能手机及其他设备朝更小、更节能化的方向发展。 据悉,这两家日本公司正在研制一种特殊的EUV(极紫外)光刻胶。

    目前,日本JSR和信越化学株式会社等控制了全球大约90%的EUV光刻胶市场。新厂商的加入预计将加剧EUV光刻胶市场的竞争。其中,富士胶片将投资45亿日元(4260万美元)用于日本静冈县的生产设备,该厂最早将于明年开始量产。该公司表示,下一代光刻胶技术有助于减少残留物,从而提高芯片的良率。与此同时,住友化学计划在2022财年之前,为大阪的一家工厂投入从研发到生产的全部光刻胶产能。报道指出,该公司在传统光阻剂市场上拥有巨大的份额,因而该公司已与一家大型制造商达成了一项初步供应协议。目前市场上最先进的芯片采用5纳米工艺,台积电等厂商正致力于将3nm制程商业化,而解决EUV光刻胶的难题则是推进芯片制造技术的最关键途径。

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    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:shenxiang
    • 发布时间:2020-03-04
    • 美国 半导体 设备厂商 Lam Research 开发出通过化学反应制作极紫外光刻胶 ( EUV PR )薄膜的技术。通过该技术比在晶圆上涂液体光刻胶,能实现更高的分辨率并节减费用。目前在液体 EUV PR 和涂布市场主要被日本厂商垄断。预计三星电子等受日本出口限制 EUV PR 供应受影响的韩国半导体厂商对该技术将会比较关注。 根据韩媒 ETNews 报道,Lam Research 在 26 日由国际光工学会(SPIE)在美国圣何塞举行的尖端曝光工程学会上介绍了“Dry resist”技术。该技术由 Lam Research 与荷兰曝光设备厂商 ASML,比利时半导体研究中心 IMEC 共同开发而出。 Dry resist 用于作为半导体核心技术的曝光工程之前。通过光反复刻录半导体电路的曝光工程进行之前,半导体厂商会在晶圆上涂抹与光反应的液体光刻胶。目前通过旋转涂布的方式进行光刻胶涂布。旋转晶圆的同时,利用将液体光刻胶滴几滴到晶圆上可以形成均匀厚度的 Track 设备。该设备主要由日本 TEL 生产。
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    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:shenxiang
    • 发布时间:2019-07-19
    • 南大光电在互动平台透露,公司设立光刻胶事业部,并成立了全资子公司“宁波南大光电材料有限公司”,全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”落地实施。目前该项目完成的研发技术正在等待验收中,预计2019年底建成一条光刻胶生产线,项目产业化基地建设顺利。 官网显示,南大光电是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的高新技术企业,公司于2012年8月7日在深圳证券交易所创业板挂牌上市。 凭借30多年来的技术积累优势,公司先后攻克了国家863计划MO源全系列产品产业化、国家“02—专项”高纯电子气体(砷烷、磷烷)研发与产业化、ALD/CVD前驱体产业化等多个困扰我国数十年的项目,填补了多项国内空白。2017年,南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的193nm光刻胶材料的研发与产业化项目。 通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化,南大光电形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块。