《Azur订购Aixtron MOCVD系统以进入GaN高功率电子和RF Epi市场》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: Lightfeng
  • 发布时间:2020-08-09
  • 德国Azur Space Solar Power GmbH正在使用沉积设备制造商Aixtron的AIX G5 + C金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,以拓展硅基氮化镓(GaN on Si)高功率电子器件(HPE)和射频(RF)外延片市场。

    Azur Spac主要开发和生产用于太空和陆地集中光伏(CPV)应用的多结太阳能电池,并且是Aixtron的长期客户,一直在其太空太阳能应用中使用AIX 2800G4-TM和AIX 2600G3系统。

    现在订购的全自动AIX G5 + C系统具有原位清洗、盒对盒晶片处理机、自动进给(AFF)晶片温度控制功能,可确保良好的外延稳定性和低缺陷比率。此外,Aixtron的Planetary Reactor技术可以提供高吞吐量、最成本和最性能来提高生产率和性能。MOCVD平台用于生产150mm和200mm外延晶片。

    通过利用其III-V制造专业知识建立第二条业务线,Azur Space将自己定位在快速增长的电力电子和RF应用GaN外延片市场中。由于能够以较高的频率和较小的尺寸运行,因此对这些外延晶片的需求方面主要在节能电源系统、快速充电解决方案、可再生能源、服务器场或下一代无线网络(5G)的需求。

    Azur首席执行官JürgenHeizmann说道:“进入市场将是一个挑战。但是,Azur在III-V外延技术领域拥有超过25年的开发和批量生产经验,可以通过Aixtron的系统得到完美的补充,因此我们拥有非常好的起步位置。重要的是,Aixtron先进的行星式反应堆可以提生产质量水平出色的外延晶片,以占领未来高性能电子市场。”

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    • 编译者:Lightfeng
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    • 为了巩固其在新兴硅基氮化镓(GaN-on-Si)市场中的地位,德国硅晶片制造商Siltronic AG已订购另一套金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统用于生产150mm和200mm的GaN-on-Si外延晶圆,用于射频(RF)和功率应用。 AIX G5 + C系统将在2020年第四季度发货,该系统完全自动化,配有原位清洗和盒式磁带传输模块,以实现高外延稳定性和低缺陷率。行星反应堆包括Aixtron的晶片自动温度自动控制(AFF),并具有8x150mm和5x200mm的配置。 射频、功率器件和电路可实现高开关频率和高功率密度的高效能源管理。 Aixtron指出,这些功能是当代应用程序所必需的,例如数据中心、可再生能源和下一代无线网络(5G)。除较小的外形尺寸外,GaN-on-Si还适合用于快速充电和汽车电气化。 Siltronic的首席执行官Christoph von Plotho博士说:“硅基氮化镓市场是未来重要的增长领域。为了在市场上保持竞争优势,Siltronic需要一个反应堆,能为客户提供最佳性能的外延片,同时以最低的成本提高产量。在这方面,我们将AIX G5 + C系统视为GaN功率和RF器件的理想解决方案,以适应于应用不断增长得大趋势。硅基氮化镓技术通过脱碳,为改善能量平衡也做出了重要贡献。” Aixtron总裁Felix Grawert博士评论说:“硅基氮化镓技术在过去几年中取得了令人瞩目的突破,并且这些器件在功率和射频应用产品中迅速得到认可。AIX G5 + C是致力于这些高级应用程序的成熟平台。”
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    • 编译者:Lightfeng
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    • 德国沉积设备制造商Aixtron SE表示,总部位于中国的康佳集团有限公司已订购了多个AIX G5 + C和AIX 2800G4-TM金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,使自己具有批量生产基于氮化物(GaN)和基于砷化磷(AsP)的Mini及Micro LED的能力。康佳最近宣布计划在2020年进入北美消费电子市场,并与重庆凉山工业投资有限公司合资筹谋了micro-LED计划。 Micro-LED技术将在下一代消费产品取代现有显示技术。由于微型LED制成的显示器是由形成单个子像素元素的微米大小的LED阵列组成,因此功耗最低,同时又展现了出色的像素密度、对比度和亮度。与现有的LCD和OLED技术相比,微型LED为消费类移动产品以及高端电视显示器的设计提供了新的机遇。 重庆康佳光电技术研究院有限公司总经理兼首席执行官蔡明达表示:“Aixtron领先市场的全自动MOCVD工具AIX G5 + C和AIX 2800G4-TM完全符合我们微型LED制造对波长均匀性的严格要求。先进的Planetary技术以出色的波长均匀性、高产量和高效能的大批量生产和最低单片成本而脱颖而出。重庆康佳和Micro Crystal Transfer Group还将开发基于GaN材料的新技术和应用。” Aixtron总裁Bernd Schulte博士说:“获得用于微型LED生产的AIX G5 + C工具的最新资格认证之后,我们的微型LED制造系统技术向商业化又迈出了一步。Aixtron将继续支持重庆康佳和Micro Crystal Transfer Group在基于GaN材料的新技术和应用的开发。”