德国Azur Space Solar Power GmbH正在使用沉积设备制造商Aixtron的AIX G5 + C金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,以拓展硅基氮化镓(GaN on Si)高功率电子器件(HPE)和射频(RF)外延片市场。
Azur Spac主要开发和生产用于太空和陆地集中光伏(CPV)应用的多结太阳能电池,并且是Aixtron的长期客户,一直在其太空太阳能应用中使用AIX 2800G4-TM和AIX 2600G3系统。
现在订购的全自动AIX G5 + C系统具有原位清洗、盒对盒晶片处理机、自动进给(AFF)晶片温度控制功能,可确保良好的外延稳定性和低缺陷比率。此外,Aixtron的Planetary Reactor技术可以提供高吞吐量、最成本和最性能来提高生产率和性能。MOCVD平台用于生产150mm和200mm外延晶片。
通过利用其III-V制造专业知识建立第二条业务线,Azur Space将自己定位在快速增长的电力电子和RF应用GaN外延片市场中。由于能够以较高的频率和较小的尺寸运行,因此对这些外延晶片的需求方面主要在节能电源系统、快速充电解决方案、可再生能源、服务器场或下一代无线网络(5G)的需求。
Azur首席执行官JürgenHeizmann说道:“进入市场将是一个挑战。但是,Azur在III-V外延技术领域拥有超过25年的开发和批量生产经验,可以通过Aixtron的系统得到完美的补充,因此我们拥有非常好的起步位置。重要的是,Aixtron先进的行星式反应堆可以提生产质量水平出色的外延晶片,以占领未来高性能电子市场。”