自然于2021年5月13日发布关于纳米的内容，文章指出基于近年来对烧结陶瓷晶体取向相关的刻蚀行为的研究，首次评价了纳米Y2O3-MgO复合陶瓷(YM)的等离子体电阻。我们报道了纳米结构YM的高等离子体刻蚀性能，超过了商用透明Y2O3和MgAl2O4陶瓷的等离子体刻蚀性能。采用热压烧结技术制备了晶粒尺寸为几百nm的无孔YM陶瓷，实现了低温下理论最大致密化。不溶性两组分通过互钉扎作用有效抑制了晶粒的生长。与使用等离子体的半导体应用相比，所开发的YM纳米复合材料具有更高的机械可靠性、更好的成本效益和优异的等离子体电阻性能。
