据俄罗斯cnews报道，圣彼得堡彼得大帝理工大学（SPbPU ）的专家表示，已经开发了两套用于生产微电子纳米结构的国内光刻系统，这将使“解决俄罗斯在微电子领域的技术主权问题”成为可能。其中包括了一个在基板上进行无掩模纳米光刻和硅等离子化学蚀刻的设备。据开发人员称，与传统光刻技术相比，无论是在金钱还是时间方面，这项技术都便宜得多，因为传统光刻技术使用专门的光罩来获取图像。第一台用于无掩模纳米光刻的机器成本约为500万卢布（约36.74万人民币），而外国同类产品的价值高达数十亿卢布。该工艺的第一阶段使用基础掩模光刻机，第二阶段则使用用于硅等离子化学蚀刻的机器。
开发商没有具体说明是否有任何俄罗斯芯片制造商对其新安装感兴趣。对此，目前还没有消息称它们何时开始应用于实际生产。与此同时，发明人继续改进他们创造的光刻复合体。他们还计划为其中的两个设备配备人工智能。
信息参考链接：
https://www.cnews.ru/news/top/2023-10-03_rossiyane_sozdali_suverennyj
https://www.tomshardware.com/news/russian-researchers-develop-etching-tool-that-can-replace-litho-tools
