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《带锯齿形电极的ZnO薄膜晶体管(TFTs)的接触电阻降低》

  • 来源专题：纳米科技
  • 编译者： 郭文姣
  • 发布时间：2018-06-12

  • 本文报道了一种锯齿形电极结构ZnO薄膜晶体管(TFT)，它能有效地增加通道宽度。在接触金属/ZnO通道结处，锯齿状电极的接触线几乎是它的两倍长。我们在实验中观察到，与典型形状的ZnO TFT相比，与消耗相同芯片面积的ZnO TFT相比，输出驱动电流增加了50%，接触电阻减少了50%以上。这种性能增强归功于通道宽度的扩展。这种技术有助于提高设备性能，特别是降低接触电阻，这是一个严重的挑战。

    ——文章发布于2018年6月5日

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