近日，中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司（光华微电子）宣布研制成功国内首台商用 12 英寸全自动晶圆探针台。
公司成立以来，一直致力于高端生产设备的研制工作，在光学、精密机械和计算机控制等方面建立了较强的技术优势。
本次研发成功的晶圆探针台产品，是半导体行业重要的检测装备之一，可将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以剔除，从而大幅度降低器件的制造成本。
检测过程要求，在 0.3 秒内，晶圆探针台的几千到几十万根探针分别精准地对应到一个个大小约为头发丝横截面四分之一的 Pad 盘上。”光华微电子董事长田兴志说。
由于探针台技术门槛较高，目前市场处于双强垄断态势，东京电子(TEL)和东京精密(TSK)两家日本公司占据了绝大部分市场份额。光华微电子于 2015 年正式立项开展 12 英寸全自动探针台产品研发，2019 年起，先后在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的知名企业进行了样机测试。
