《我国首台半导体激光隐形晶圆切割机研制成功》

  • 来源专题:光电情报网信息监测服务平台
  • 编译者: husisi
  • 发布时间:2020-05-25
  • 中国长城官方消息显示,近日,中国长城旗下郑州轨交院与河南通用成功研制出我国首台半导体激光隐形晶圆切割机,填补国内空白,在关键性能参数上处于国际领先水平。我国半导体激光隐形晶圆切割技术取得实质性重大突破,相关装备依赖进口的局面即将打破。

    此外,中国长城副总裁、郑州轨交院院长刘振宇表示,与传统的切割方式相比,激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。

    据悉,该装备通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台,可以实现加工平台在高速运动时保持高稳定性、高精度,运动速度可达500mm/S,效率远高于国外设备。在光学方面,根据单晶硅的光谱特性,结合工业激光的应用水平,采用了合适的波长、总功率、脉宽和重频的激光器,最终实现了隐形切割。

    郑州轨交院成立于2017年,几年来,该院围绕自主安全工业控制器、高端装备制造和新一代信息技术突破开展科研创新、技术攻关。2019年12月2日,中国长城公告称,其全资子公司北京圣非凡电子系统技术开发有限公司拟用9800.96万元收购关联公司郑州轨交院100%股权。

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    • 编译者:husisi
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    • 在中国长城科技集团股份有限公司旗下郑州轨道交通信息技术研究院和河南通用智能装备有限公司科研人员奋勇攻关、共同努力下,我国首台半导体激光隐形晶圆切割机于近日研制成功,填补国内空白,在关键性能参数上处于国际领先水平。 我国半导体激光隐形晶圆切割技术取得实质性重大突破,相关装备依赖进口的局面即将打破。 该装备是郑州轨交院与河南通用历时一年联合攻关研发成功,最终实现了最佳光波和切割工艺,开启了我国激光晶圆切割行业发展的序幕。 郑州轨交院成立于2017年,几年来,该院围绕自主安全工业控制器、高端装备制造和新一代信息技术突破开展科研创新、技术攻关。尤其是被中国长城旗下公司收购后,郑州轨交院科研创新、事业发展进入新一轮加速发展期。 晶圆切割是半导体封测工艺中不可或缺的关键工序。中国长城副总裁、郑州轨交院院长刘振宇介绍,与传统的切割方式相比,激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。 该装备通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台,可以实现加工平台在高速运动时保持高稳定性、高精度,运动速度可达500mm/S,效率远高于国外设备。在光学方面,根据单晶硅的光谱特性,结合工业激光的应用水平,采用了合适的波长、总功率、脉宽和重频的激光器,最终实现了隐形切割。 在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相机,配以不同功效的镜头,实现了产品轮廓识别及低倍、中倍和高倍的水平调整。该装备还搭载了同轴影像系统,可以确保切割中效果的实时确认和优化,实现最佳切割效果。 高端智能装备是国之重器,是制造业的基石,尤其是半导体领域内高端智能装备,在国民经济发展中更是具有举足轻重的作用。 专家指出,我国首台半导体激光隐形晶圆切割机研制成功,打破了国外对激光隐形切割技术的垄断,对进一步提高我国智能装备制造能力具有里程碑式的意义。 该装备的成功研制也创立了央企、民企共扛使命、资源互补、平台共享、集智创新的新模式,也是央企、民企联合发挥各自优势,通过产学研用相结合,解决国家重大智能装备制造瓶颈问题成功典范。 中国长城董事长宋黎定说:“自主安全、核心技术始终是中国长城科研创新的聚焦主题,也是不变的工作主题。在国家发展的关键时期,中国长城的科研人员更要时刻牢记‘将核心技术掌握在自己手里’,牢记‘实践反复告诉我们,关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。只有把关键核心技术掌握在自己手中,才能从根本上保障国家经济安全、国防安全和其他安全’,义无反顾、义不容辞地扛起央企主责,甘做冷板凳,誓当主力军,勇攀核心技术突破高峰,加速解决‘卡脖子’的问题,争做新时代的圆梦人。”
  • 《会发光隐形墨水研制成功》

    • 来源专题:中国科学院文献情报制造与材料知识资源中心 | 领域情报网
    • 编译者:冯瑞华
    • 发布时间:2018-08-22
    • “了无痕迹”的墨水可以加密信息,还能超长发光?谍战大片里经常出现的隐形墨水如今变成了现实,而且功能更强大。日前,天津大学材料学院封伟团队国内首次制备出氟氮双掺杂碳量子点(FNCDs),并基于此造出了可以隐形且具有自保护超长室温磷光性能的神奇墨水。该成果在最新一期《Advanced Functional Materials》在线发表。 据介绍,发光隐形材料,特别是室温磷光材料,因具有长发光寿命和独特的单线态—三线态跃迁等优异特征,能起到非常显著的加密效果,是光子加密信息的重要载体,在信息安全领域应用广泛,也是热门科研领域之一,具有非常高的经济价值和应用前景,而隐形墨水就是发光隐形材料氟化碳领域的下游具体产品。 目前已报道的绝大多数基于碳量子点的室温磷光材料,需将碳量子点嵌入到基质中才能获得室温磷光发射现象,且产品发光仅有几十毫秒。封伟团队此次制备的室温磷光碳量子点,无需考虑基质辅助的氧隔离层就可以实现室温下自发磷光,时间长度达到1.21秒,外界刺激还可以直接作用于裸露的碳量子点,有利于设计具有外界刺激响应性的磷光传感器。实验中,研究人员用氟氮双掺杂碳量子点的水分散液制成的墨水,通过普通的商业喷墨打印机,将预先设计的复杂图案、文字等加密信息打印在滤纸上,其干燥后在紫外灯下发射出强烈的固态蓝色荧光,移去紫外灯后会发射出自我保护绿色磷光,实现了时间维度和空间维度的信息双安全保护。 这一研究成果,未来有望应用于信息记录读取、防伪和隐写术等领域。同时,这种双元素共掺杂技术也为室温磷光隐形材料的设计和应用提供了新的思路。