登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 情报产品
  3. 快讯详情

《日本产业技术综合研究所制造出高耐热性n型MoS2晶体管》

  • 来源专题：集成电路
  • 编译者： 李衍
  • 发布时间：2023-05-19

  • 具有二维晶体结构的过渡金属二硫化物（TMDC）材料，由于其在原子级薄沟道的高载流子迁移率，在纳米电子器件中显示出巨大的潜力，作为下一代晶体管沟道的半导体材料受到关注[1]。然而，由于TMDC和金属之间的费米能级钉扎效应（Fermi-level pinning），源极/漏极与TMDC沟道之间的高接触电阻阻碍了晶体管性能的提升，进一步影响了TMDC在超大规模集成电路（VLSI）领域的应用。

    2023年2月，日本产业技术综合研究所与东京都立大学通过使用超大规模集成电路兼容的物理气相沉积和退火工艺在单层MoS2上热诱导结晶层状Sb2Te3电极来制造原子排列的范德华（vdW）结，成功在二硫化钼 (MoS2)上形成了高热稳定性的层状材料三碲化二锑 (Sb2Te3)，450°C退火后未观察到Sb2Te3/MoS2界面的混合或Sb2Te3的结晶度退化，由此制造的n型MoS2晶体管具有足够耐热性以承受半导体制造过程[2].

    该技术进展有望根本性解决MoS2晶体管的高接触电阻的问题，有力推动了高性能二维材料晶体管作为下一代逻辑半导体的发展进程。


    [1] https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2023/pr20230210/pr20230210.html

    [2] Wen Hsin Chang, Shogo Hatayama, Yuta Saito, et al. Sb2Te3/MoS2 Van

    der Waals Junctions with High Thermal Stability and Low Contact Resistance[J].

    Advanced Electronic Materials, 2023.

    https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/aelm.202201091



  • 原文来源：https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2023/pr20230210/pr20230210.html
117浏览量
原文链接
相关报告

  • 《日本产业技术综合研究所（AIST）先进电池领域调研分析》
    • 来源专题：中国科学院文献情报制造与材料知识资源中心 | 领域情报网
    • 编译者：冯瑞华
    • 发布时间：2019-12-23
    • 国立研究开发法人产业技术综合研究所（英文为National Institute of Advanced Industrial Science and Technology，简称“AIST”）作为日本最大的公共研究机构，专注于研发有利于日本产业和社会发展的技术及其产业化问题，起到将革新技术与产业化连结起来的“桥梁”作用，同时还与世界各国的主要研究机构签订合作备忘录，构建积极的全球合作网络。目前产业技术综合研究所在日本的研究据点有11个，拥有约2300名研究人员。 英文名称：Research Institute of Electrochemical Energy 中文译名：电池技术研究部 总体研究内容： 1、先进产业技术的提出，包括新产业技术种子（对推进研究开发有必要性的发明技术、能力、人才、设备等）的提出、高风险技术的实验证明等。 2、产业基础技术的提供，包括国际工业标准、材料·性能评价技术、寿命预测等。 3、核心竞争力的强化，包括纳米材料学、应用表面科学、材料开发方法论等。 研究课题 电池技术研究部主要研究的课题共13个，其中与电池相关的课题共9个，具体内容如下： 1.使用固体高分子电解质开发电化学器件电极（获日本“电化学学会女性跃进奖”） ①对环境友好的、安全的直接燃料电池方面的提案 给固体高分子型燃料电池供应甲醇等氢以外的燃料、在电极上直接氧化发电的直接燃料电池有望作为可移动电源和移动终端的充电器实现部分实用化和可利用化。日本产业技术综合研究所开发了以抗坏血酸（维他命C）为燃料的直接燃料电池。这种燃料电池不使用氢和甲醇，燃料极反应与摄取抗坏血酸时在生物体内产生的代谢反应相同，是安全无害的燃料电池。而且，抗坏血酸的氧化具有不必使用贵金属催化剂、可在电极上使用表面积大的碳材料这一特征。 ②金属空气蓄电池的固体高分子型空气电极 金属空气电池因具有高能密度，作为创新性车载蓄电池，有望实现其蓄电池化。空气电极被指出具有过电压较大、有碱性电解液的电极润湿和电解液泄露的危险、因空气中的二氧化碳而在气体扩散电极细孔内会出现碳酸盐沉淀等问题。为了改善这些问题并大幅度提高性能，电池技术研究部提出了使用阴离子交换膜及其离子聚合物的固体高分子型空气电极，作出了抑制因空气中的二氧化碳产生的性能低下以及防止液漏的可能性的报告。 ③基于化学镀层技术的高分子作动器元件 90年代，旧大阪工业技术研究所开发出了使用特殊的化学镀层法使高分子电解质膜的两面直接析出白金的、并利用了给电极接合体在水中施加电位这一现象的高分子作动器。但是，因水的电分解而产生的气泡问题成为了待解决的课题。于是，电池技术研究部着眼于根据把电极从白金变为金来扩大电位窗这一内容，通过对金属络合物和还原剂的大力研究，成功在高分子电解质膜的两面形成了平均的金电极层，与原来使用白金电极的作动器相比，在没有气体产生的情况下可形成大的弯曲。 ④化学镀层（吸附反应）下的膜电极接合体制造技术 利用化学镀层法来制造膜电极结合体的技术原本是因固体高分子型电解水制氢法在旧大阪工业技术试验所开发出的技术。此方法是在膜中吸附金属络合物，用还原剂在高分子电解质膜的表面使白金直接析出的方法，具有粘着性高、在高电流密度操作下不易产生气体等特点。 2.全固态锂电池的固-固界面结构技术 ①根据固体电解质的微细化·均匀分散来制造良好的复合电极 利用Li2S-P2S5固体电解质在加压条件下可常温烧结的特性，通过固体电解质的微细化和室温成型（常温加压烧结），电池技术研究部开发了在产业上更加方便使用的密集电极层的制作工艺。该研究部通过各种各样的方法探讨了固体电解质的粒子形状控制，并通过均匀分散硫化物固体电解质、改善电极的同质性、增大电极-电解质的接触面积、使电极层变得高密度化（减小空隙）、在正极活性物质（氧化物）粒子的接触处产生局部应力的方法，减少正极活性物质粒子的破碎。低弹性系数和可以假塑性变形的硫化物固体电解质作为控制向电极活性物质粒子进行应力集中的缓冲层起到了不错的效果。 ②全固态锂硫电池 日本产业技术综合研究所使用已开发的易于成型的高容量电极活性物质Li3NbS4，开发出了利用Li2S-P2S5固体电解质的全固态蓄电池。因为Li3NbS4是通过常温加压烧结可以假塑性变形的材料，所以在室温下的加压成型过程中加压的同时，可形成90%以上的致密成型体。即使充放电时产生大约30%的体积变化，也不产生裂缝，可实现380mAh g-1的可逆充放电并有望发现其良好的循环特性。 3.新制造工艺下抑制LiNiO2退化 虽然镍酸锂作为高容量锂离子蓄电池正极材料被抱有期待，但是在高电位充电时周期退化严重，无法充分灵活运用其特性。在目前为止对LiFeO2-Li2MnO3正极材料研究成果的基础上，通过新的制造工艺（Li2NiO3热分解法）的应用，开发出了可保持高容量（>190mAh/g）并大幅抑制了周期退化的锂过量镍酸锂正极材料。 今后的计划：在研究数据的基础上，寻找正极材料开发合作伙伴，并向电池制造商提供供应。并且，为了进一步改善电池特性，电池技术研究部将进行制造方法的探讨以及异金属置换效果的探讨。另外，该部门也将继续进行LiFeO2-Li2MnO3正极材料的开发以及大型锂离子蓄电池使用的价格便宜且高性能的正极材料的开发。 4.利用NMR开发电池材料测评技术 电池技术研究部在广泛应用于有机结构鉴别的NMR（核磁共振）技术上添加了“倾斜磁场”和“电场”，并正在测定作为与电池中存在的离子（阴离子、阳离子）“动向”相关的物性的扩散系数（m2s-1）和移动率（m2s-1V-1）。而且，该部门也在进行使用了扩散系数和导电率数据的解析，对决定了溶解于电解质的锂盐的解离度和离子移动率大小的相互作用力等内容进行预测，并对把它们作为指标的电解质和分离器结构进行设计和提案。 5.探索镁蓄电池结构材料 如果能够把轻便的多价金属且在资源上也较为丰富的镁（Mg）作为负极来利用，就可以制造出储能密度高、成本小且较为安全的电池。但是，把Mg应用于可充放电的蓄电池还在基础研究阶段，处于必须探索开发可充放电的正负极材料和适用于两极的电解液的现状。日本产业技术综合研究所发现了某种作为Mg电池的正极材料可进行可逆反应、且作为蓄电池可在室温下进行操作的有机物，同时研究了适用于此电池的电解液，改善了充放电的效果。 电池技术研究部还进行了关于“使用乙二醇二甲醚类电解液的有机物-镁二次电池的充放电特性”的研究。该项研究首次报告了有机物可以使用在镁二次电池的正极中。该研究团队发现，将该有机正极与金属镁负极、乙二醇二甲醚类镁电解液进行组合后，可以实现室温下约接近2V的放电电压，且能够进行反复的充放电。 6.开发金属多硫化物正极材料（下一代高能量密度蓄电池用电极材料的开发） 目前，能够应用在电动汽车上的、能量密度显著提高的下一代蓄电池的开发备受期待。日本产业技术综合研究所开发了结晶度较低的金属多硫化物材料，并发现这种材料拥有一种新奇的充放电机制，是一种高容量电极材料。 该研究部门开发的新材料与传统材料相比，不仅金属能够进行氧化还原，硫也可以，因此可以飞跃性地提高电池的容量。 7.实际电极中离子传导率、电子传导率测定方法研究 蓄电池、燃料电池、电容器中使用的电极是由电子导体和离子导体（电解质）组成的复合体，电子传导率、离子传导率的测定对提高电池性能、明确电池劣化主要原因非常有效。但是，实际多孔电极中的测定方法还未确立，该电池技术研究部门一直在研究开发各种类型、条件下的测定方法。另外，该部门还根据电池、燃料电池等电化学器件开发企业的要求，进行一些共同研究活动。 目前该部分的主要研究成果如下：利用电化学阻抗进行离子传导率·电子传导率测定；同时测定多孔电极离子传导率·电子传导率的“6端子法”；正确解释电化学阻抗的基础理论和手法。 8.电池内部反应不均现象可视化 该项研究由日本产业技术综合研究所、京都大学、立命馆大学、株式会社KRI共同进行，并于2016年5月23日公布了研究成果。 在该研究中，研究团队为了实现反应不均现象的可视化，使用了可获得二维数据的X射线吸收光谱测定方法。另外，研究团队还确立了在锂离子电池的电极中测量电子传导率、离子传导率的方法。通过在不同性能的锂离子电池电极中使用上述方法进行解析，研究团队最终确定电池内部的反应不均现象是由离子传导所引起的，这一现象会极大地影响电池性能。 该研究成果有助于进行锂离子电池的实用性设计，可以帮助提高电池性能。尤其是在反应不均现象较为明显的大型电池中，该研究成果将适用于汽车用锂离子电池的设计，并有望延长电池的续航距离、提高电池的安全性。 9.在电荷载子中使用分子性离子的新型二次电池 在目前的Li二次电池中，Li+作为电荷载子起作用，因此电池的电压、安全性等都收到Li本质的物性上限制。为此，该研究小组在不使用Li+或Na+的电池中进行了将分析性离子作为电荷载子进行作用的电池实证。 该电池未来备受期待的优点如下： ①比Li更低的电位⇒高电压 ②高离子传导率⇒高输入、高输出 ③没有枝晶（dendrite）⇒高安全性 ④不使用稀有金属⇒低成本
    296浏览量
    原文链接

  • 《日本产业技术综合研究所（AIST）利用在异质基板上生长的金刚石晶体成功开发出高灵敏度量子传感器》
    • 来源专题：计量基标准与精密测量
    • 编译者：张宇
    • 发布时间：2025-02-11
    • 由东京科学大学（Science Tokyo）工学院电气电子系的波多野睦子教授和岩崎孝之教授、产业技术综合研究所先进功率电子研究中心的牧野俊晴研究团队长和加藤宙光高级主任研究员，以及信越化学工业株式会社精密功能材料研究所的野口仁首席研究员组成的文部科学省光·量子飞跃旗舰计划（Q-LEAP）团队，成功在异质（非金刚石）基板上异质外延生长出金刚石层，并制备出具有适用于量子传感器的晶体取向和相干时间的量子级（直径超过10毫米）的金刚石晶体基板。此外，我们还开发了一种使用相同基板的金刚石量子传感器，并通过应用精密对准技术，证明了该传感器具有抗噪声能力强、精度高（10毫安）的电流测量能力，可满足电动汽车中电池监测系统的需求。 在所有金刚石晶体中，基于NV中心的金刚石晶体量子传感器是一种坚固耐用的传感器，具有高灵敏度和宽动态范围，并可在包括宽温度范围在内的各种外部环境中工作，是一种多模态传感器，能够同时测量磁场、电场、温度、压力等数据。作为一款高精度传感器，世界上对它的研发正在加速推进。然而，此前由于制造方法的限制，用于量子传感器研发的金刚石晶体基板只能实现几毫米的外延生长。 这项研究通过异质外延CVD生长方法，证明了增加金刚石晶体基板外延生长面积并将其应用于高灵敏度量子传感器制造的可能性。这种新方法有望加速量子传感器在生物识别测量等医疗应用和电动汽车电池监测系统等能源监测产品中的应用。 金刚石作为一种量子材料，具有很大的应用潜力。研究小组一直在研究基于金刚石晶体的量子传感器应用，其中原本应为碳（C）的位置被氮（N）取代，且其相邻位置存在空位（V）的空位复合体（NV中心）。使用NV色心的金刚石量子传感器的特点之一是其稳健性，可在较宽的温度和压力范围内在宽动态范围内稳定运行，并且具有同时测量磁场、电场、温度和压力等物理特性的多模态能力。 到目前为止，用于金刚石量子传感器制造的人造金刚石晶体基板一直采用高温高压法（HPHT法）或高温高压法在金刚石晶体上进行同质外延CVD生长的方法（CVD法）获得。然而，由于原始晶体尺寸的限制，使用这种方法只能获得几毫米尺寸的基板。从工业量产的角度来看，就像半导体器件使用的晶体基板一样，直径越大，同时形成的数量就越多，预计实际量产中晶体基板的面积会更大。 在追求大面积化的过程中，由于硅基板、碳化硅基板和蓝宝石基板等已经能够实现工业量产且尺寸超过英寸级别，因此在这些非金刚石异质基板上生长金刚石晶体层的异质外延生长技术的开发也一直进行着，并且已经发布了英寸级别的产品。然而，到目前为止，异质外延生长尚未获得具有适用于量子传感器规格（111）的大面积晶体基板，并且相干时间也仅为最大几微秒的量级。因此，作为量子传感器的实际应用仅限于通过高温高压法或同质外延生长法生产的金刚石晶体基板。 实现具有生物相容性和宽动态范围的，能够在常温大气中工作的，直径超过10毫米的大面积金刚石量子传感器，这不仅扩展了其应用可能性，还提高了工业量产率。 预计这将加速其在医疗行业中的应用，例如生物识别测量和能源设备应用。例如，目前仅在大型医院提供的高精度生物磁性测量将有望在普通诊所中实现，预计电动汽车电池的使用效率将显著提高，且电池重量有望减少10%。 在文部科学省的光·量子飞跃旗舰计划（Q-LEAP）“通过固体量子传感器的高级控制创造创新传感器系统”的项目中，进一步推进了其在医疗应用方面的目标，即无需大型屏蔽设备或冷冻机即可使用，以及在能源设备应用方面，使其能够安装在电动汽车等各类新能源设备上。 此外，通过QST/SIP合作方式创立的固态量子传感器联盟，将加速该技术在企业内部的推广。 这项研究得到了日本文部科学省的光·量子飞跃旗舰计划（Q-LEAP）“通过固态量子传感器的高级控制创造创新传感器系统”（JPMXS0118067395）的支持。 该技术的详细信息已于2025年1月18日发表在《Advanced Quantum Technologies》期刊中。（DOI：10.1002/qute.202400400）
    111浏览量
    原文链接