通过化学气相沉积法(CVD)，我们演示了一种有效的去除聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)层的技术。这是在使用传统有机溶剂之前，利用电子束轰击和发展过程实现的。在转移的石墨烯上制备了场效应晶体管，以探索其在环境条件下的Dirac点和载体运动，然后与常规湿化学处理的结果进行比较。研究发现，与丙酮和乙酸处理方法相比，狄拉克点与零栅偏压接近。最重要的是，场效应的移动性达到了6770 cm2/ Vs和7350 cm2/ Vs的平均孔洞和电子，这比传统的丙酮处理对cvd生长石墨烯装置的改进要高出7倍以上。
——文章发布于2017年12月22日
