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《美国国家标准与技术研究院（NIST）研究团队开发了能够实现八度跨越的微梳制造工艺》

  • 来源专题：计量基标准与精密测量
  • 编译者： 张宇
  • 发布时间：2024-09-11

  • 孤子微梳为自校准和光学计量提供了一种基于芯片的倍频光源。研究人员使用氮化硅集成光子学铸造厂生产280个单芯片解决方案的倍频微梳晶圆。利用波导截面的群速度色散(GVD)工程，研究人员在 f-2f 自校准频率下形成了色散波谱增强的孤子谱。此外，研究人员还展示了其他的考虑因素，包括孤子频谱设计模型，超宽带谐振腔外部耦合，低损耗边缘耦合器，以及非线性自相互作用的短周期孤子。为了满足制造公差，研究人员系统地扫描了336个谐振器宽度和半径的参数集，确保每个芯片上至少有一个器件能够产生具有电子可检测的载波包络偏移频率的倍频梳，研究人员已经在实验中成功的实现了这一目标。研究人员的设计和测试过程允许创建高度可重复的孤子微梳单芯片解决方案，这些解决方案针对泵浦运行～100 mW 和用于f-2f 检测的高梳状模式功率进行了优化，这是用于光学计量的紧凑型微系统的核心组件。

    相关研究成果于2024年9月6日发表在《Optics Letters》期刊上（DOI：10.1364/OL.527540）。

  • 原文来源：https://www.nist.gov/publications/foundry-manufacturing-octave-spanning-microcombs
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    • 来源专题：计量基标准与精密测量
    • 编译者：张宇
    • 发布时间：2025-02-17
    • 半导体芯片的生产中使用了许多工艺气体。准确计量这些进入工艺腔室的气体对于最大限度地提高设备吞吐量和产量至关重要。目前不存在针对半导体工艺气体的国家流量标准，这迫使该行业依靠近似的“仪表系数”来进行计量，通过用于氮气计量的仪表来校准外推到实际工艺气体。为了解决这一问题，美国国家标准与技术研究院（NIST）开发了一种新型的上升速率流量标准，其特点是收集罐的几何形状采用了一种细长的管子。这种设计与空气浴配合使用以实现热稳定性，可确保在灌装过程中实现高效的热传导和准确的温度预测。该标准将能够对支持商用流量计和控制器的物种效应进行建模。这些模型将使利用氮气校准的仪表能够准确测量有害的半导体工艺气体。新标准描述了热力学模型的设计、实验验证、新型流量标准的测试以及不确定度分析。该标准被称为SLowFlowS（半导体低流量标准），在 0.056 % 至 0.098 % 的流量之间具有扩展的不确定度（95 % 置信度），在 273.15 K 和 101.325 kPa 的标准条件下，其流速范围为 0.01 cm3/min 至 1000 cm3/min。
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  • 《美国国家标准与技术研究院（NIST）采用新方法精确测量微量样本的放射性》
    • 来源专题：计量基标准与精密测量
    • 编译者：张宇
    • 发布时间：2025-07-10
    • 近日，美国国家标准与技术研究院（NIST）研发的一种新技术能够实现在识别发生衰变的原子类型的同时检测单个原子的放射性衰变事件。这一技术进步将有助于改善癌症的治疗方案，用于先进反应堆的核燃料再处理以及其他领域。一旦全面投入使用，该技术有望在短短几天内完成传统上需要数月才能完成的任务。 NIST的研究人员展示了一种新的、更快的方法来检测和测量微量放射性物质的辐射值。这项被称为低温衰变能谱法（DES）的创新技术可能会产生深远的影响，其影响范围可能涉及从改善癌症治疗到确保核废料的安全清理以及其他多个领域。 这项新技术的关键是过渡边缘传感器（TES），这是一种被广泛应用于辐射特征测量的专用设备。TES提供了一种革命性的功能来记录单个放射性衰变事件，同时监测其中不稳定的原子释放一个或多个粒子的过程。通过从许多次单独衰变事件中积累的数据，研究人员可以识别出哪些不稳定的原子（即放射性核素）会产生这些事件。 “TES比熟悉的盖革计数器或其他当今使用的探测器要先进得多，”NIST物理学家Ryan Fitzgerald说。“它不是简单地发出咔嗒声来表示有辐射，也不是模糊地指示衰变能量的高低，而是为我们提供了放射性物质存在的详细指纹信息。” TES设备在接近绝对零度的极低温度下运行。当样品中的物质发生放射性衰变时，释放的能量被TES吸收。这种吸收的能量会导致TES的电阻发生微小的变化。研究人员精确测量了电阻的这种变化，从而获得了整个衰减过程的高分辨率“能量特征”。通过分析来自多个衰变事件能谱变化的详细数据，研究人员便可以识别出正在衰变的特定放射性原子。这是完全可能的，因为不同的放射性原子在衰变时会释放出独特的能量特征。 采用早期的方法，在同一时间，只能进行放射性剂量的测量或者识别出具体存在哪些放射性原子——而不是同时完成这两项工作。全面表征一个样品曾经需要使用多种技术。相比之下，DES法在识别放射性元素的类型的同时，又能完成量化其放射性水平的工作。 当研究人员接收到装满放射性液体的桶时，他们需要识别这种神秘物质的类型并测量其放射性核素的含量，以便安全地处理它们。通常，这个过程可能需要几个月的时间，但过渡边缘传感器（TES）可以显著缩短这一过程所需的时间。 “我们现在可以在短短几天内就从一个微量的样本中获得完整的放射性特征数据，而不再需要等待数月才能获得结果，”Fitzgerald说。 传统上，测量放射性需要多种方法和复杂的程序，使用称为示踪剂或校准剂的附加材料。然而，新方法提供了一种简化的途径，即使在没有这些附加材料的情况下，也能准确测量出微量样本的放射性。这使科学家们能够更好地监测、使用和保护影响公众健康和安全的放射性物质。 在他们的方法中，研究人员使用一种特殊的喷墨装置小心地将微量（不到一克的百万分之一）放射性溶液均匀的分布到薄金箔上。这些金箔的表面布满了大小仅为十亿分之一米的微小孔洞。这些纳米孔有助于吸收放射性溶液的微小液滴。 通过精确测量使用喷墨装置分配的溶液的质量，然后测量金箔上干燥后的样品的放射性，研究人员就可以计算出样品每单位质量的放射性，即“比活度”。 这种喷墨方法使他们能够在处理极少量放射性物质的同时，仍能准确测量其放射性。 这种技术的潜在应用场景非常广泛。在医学领域，这项技术可有确保用于癌症治疗的放射性药物的纯度和效力的准确性。在核能领域，它可以快速的识别乏燃料后处理过程中的放射性成分，从而加速新型先进反应堆的开发。 新报告的研究是更大规模努力的第一步，这一努力被称为True Becquerel（TrueBq）项目，旨在改变我们监测和表征放射性的方式。用于计量物质放射性衰变的单位是该项目名称的由来，以纪念发现放射性现象的法国物理学家亨利·贝克勒尔（Henri Becquerel）。 更广泛的TrueBq项目旨在开发一种更全面的测量系统，凭借这种全新的系统将可以处理包括复杂的混合物在内的各种放射性物质。它将把高精度天平系统与TES设备结合起来，以前所未有的精度测量放射性物质的比活度。 这种新方法对传统工作流程进行了重大改进，传统工作流程通常涉及多种方法、化学处理以及化学示踪剂和标准品的使用。通过简化测量过程，TrueBq项目有望在减少分析所需时间的同时提高测量的准确性。 通过TrueBq项目所开发的创新型技术可以有效提高NIST服务各领域客户的能力。NIST目前提供多种以客户为中心的测量服务，包括校准、标准参考物质（SRMs）和能力验证。所有这些服务未来都将受益于TrueBq项目所开发的新技术，服务的流程将会更加简化、服务内容将会更加多样化、同时服务质量的不确定性也会进一步减少。 虽然TrueBq项目目前的重点是改进NIST内部的测量工作，但研究人员对这项技术有着长远的计划。未来，他们希望开发出更便携、更人性化的系统版本，这些版本可以部署在NIST之外的实际应用场景中，以便在医学、环境治理和核废料管理等领域中发挥关键作用。 NIST的研究团队已于2025年7月8日在《Metrologia》期刊上发表了其研究成果。（DOI：10.1088/1681-7575/adecaa）
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