《美国国家标准与技术研究院(NIST)发布SLowFlowS(半导体低流量标准):一种用于半导体工艺气体的新型流量标准》

  • 来源专题:计量基标准与精密测量
  • 编译者: 张宇
  • 发布时间:2025-02-17
  • 半导体芯片的生产中使用了许多工艺气体。准确计量这些进入工艺腔室的气体对于最大限度地提高设备吞吐量和产量至关重要。目前不存在针对半导体工艺气体的国家流量标准,这迫使该行业依靠近似的“仪表系数”来进行计量,通过用于氮气计量的仪表来校准外推到实际工艺气体。为了解决这一问题,美国国家标准与技术研究院(NIST)开发了一种新型的上升速率流量标准,其特点是收集罐的几何形状采用了一种细长的管子。这种设计与空气浴配合使用以实现热稳定性,可确保在灌装过程中实现高效的热传导和准确的温度预测。该标准将能够对支持商用流量计和控制器的物种效应进行建模。这些模型将使利用氮气校准的仪表能够准确测量有害的半导体工艺气体。新标准描述了热力学模型的设计、实验验证、新型流量标准的测试以及不确定度分析。该标准被称为SLowFlowS(半导体低流量标准),在 0.056 % 至 0.098 % 的流量之间具有扩展的不确定度(95 % 置信度),在 273.15 K 和 101.325 kPa 的标准条件下,其流速范围为 0.01 cm3/min 至 1000 cm3/min。
  • 原文来源:https://www.nist.gov/publications/slowflows-novel-flow-standard-semiconductor-process-gases
相关报告
  • 《美国国家标准与技术研究院发布《美国国家半导体技术中心愿景和战略》报告》

    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:李衍
    • 发布时间:2023-05-11
    • 据战略科技前沿微信公众号报道,2023年4月25日,美国国家标准与技术研究院(NIST)发布《美国国家半导体技术中心愿景和战略》报告。报告描述了该中心的使命目标、关键计划、治理结构以及其他特点,阐述了美国国家半导体技术中心(NSTC)将如何加快美国开发未来芯片和技术的能力,以保障美国的全球创新领先地位。报告称,美国国家半导体技术中心(NSTC)旨在支持和扩展美国在半导体研究、设计、工程和先进制造方面的领导地位。NSTC将与学术和行业伙伴合作,在全国各地创建附属技术中心,促进一个在规模、广度和侧重点方面都前所未有的研究和创新网络。NSTC将为良好的工作机会打下基础,使美国国内的半导体劳动力得到发展。 一、使命与目标 (一)使命 《为美国半导体制造创造有益激励(CHIPS)法案》(以下简称“法案”)规定:商务部长应与国防部长合作,建立一个国家半导体技术中心,进行先进半导体技术的研究和原型制造、培养美国半导体劳动力,以加强国内供应链的经济竞争力和安全性。该中心应作为公私联合体运营,由私营部门、能源部和国家科学基金会参与。 因此,美国国家半导体技术中心(NSTC)将作为整个半导体生态系统研究和工程的聚集中心,推进和实现颠覆性创新,以确保美国在未来产业中的领导地位。 (二)目标 为履行其法定使命,商务部为NSTC确定了三个总体目标,并希望分阶段建设NSTC,首先建立组织,随后确定早期项目的优先级,并引导重点计划的开发和实施。 目标1:扩大美国在未来应用和产业基础技术方面的领导地位,并加强美国半导体制造生态系统。 (1)在竞争前阶段进行世界一流的研究,产生可供所有参与者使用的设计和工艺技术以及知识产权(IP)。 (2)支持跨生态系统的世界级研究,包括学术机构、政府机构和政府资助的研究机构。 (3)创造重大挑战,支持有针对性的行业路线图,并制定标准以促进广泛的技术开发生态系统协作。 目标2:显著减少成员组织为创新想法进行原型制造的时间和成本。 (1)建立并提供对物理资产的访问,例如端到端原型制造和其他设施和设备。 (2)提供对数字资产和IP的访问,包括设计工具、参考流程、工艺设计套件和数据集。 (3)提供与内部技术人员的接触机会,以协助克服技术和工艺挑战。 (4)创建一个投资基金,旨在吸引大量私人资本进入以半导体为重点的新兴公司。 (5)汇总并管理对商业晶圆厂的多项目晶圆服务的需求。 (6)通过有针对性的访问计划,让传统上不属于半导体行业的社区参与进来。 目标3:建立并维持半导体劳动力发展生态系统。 (1)作为跨行业、学术机构、政府机构和政府资助的研究机构的协调点和资源,提供半导体相关的劳动力数据、培训和发展计划。 (2)鼓励和促进采用多样性、公平性、包容性和可访问性(DEIA)最佳实践和商务部良好工作原则作为所有劳动力投资的基础。 (3)开发和资助劳动力计划,以支持NSTC成员在半导体行业建立和维持职业道路。 二、关键计划领域 NSTC将专注于技术、资产、劳动力三个关键计划领域。 (一)技术领先计划 第一个关键计划领域将侧重于半导体和先进电子技术的领先地位。为此,NSTC将设置以下机制或计划。 1. 重大挑战:重大挑战提供了一种机制,可以协调半导体社区的研发工作以解决更大的问题,服务于建立新的实践社区,并帮助指导进一步的项目投资。同时,吸引传统半导体社区以外的参与者,带来新的见解和专业知识。 2. 技术顾问:为了确定技术重点和重大挑战的具体领域,NSTC将依赖世界级专家的技术建议,这些专家来自工业界、学术界、能源部国家实验室和其他联邦资助的研究和发展中心,以及政府机构。 3. 内部和资助的研究:NSTC将开展和资助与其他机构的研究和合作,主要关注那些将在未来大约5到15年内使行业受益的发展,技术重点由顾问指导并与重大挑战保持一致。 4. 投资基金:法案呼吁与私营部门一起设立投资基金,以支持初创企业以及新企业、学术界和老牌公司之间的合作,旨在促进国内半导体生态系统的创新商业化。 5. 技术交流:通过奖学金、实习和技术交流计划,访问研究人员可以加入在职研究人员的行列,建立一个相互联系的协作社区。鼓励大学建立或使用现有的政府服务休假计划和其他机制,使学生、博士后学者、教师、研究人员、科学家、工程师参加NSTC的活动。 6. 路线图:路线图可以成为跨行业沟通需求和时间线、为研究和商业活动建立明确的目标和可交付成果的有效工具。 7. 标准和协议:NSTC与美国和国际标准机构合作,利用NIST内部的标准开发专业知识,统一供应商和开发商在新兴技术方面的工作,包括小芯粒、先进封装和异构集成。NSTC还将促进工艺和装配设计套件标准的开发,并确保这些标准的适用性。 8. 安全:NSTC将牵头确保国内微电子生态系统的安全。NSTC可以促进安全功能标准的实施,这些标准有助于获硅验证安全性IP的开发和访问。 (二)资产管理计划 NSTC将管理各种物理和数字资产,使广泛的社区受益。为此,NSTC将设置以下机制或计划。 1. 技术中心:NSTC将由总部设施和NSTC附属技术中心的综合网络组成,这些技术中心的位置分布在美国各地。NSTC技术中心网络能够提供端到端制造能力,以实现小批量原型制造和试生产、新材料和器件的实验和测试以及其他研究相关活动。NSTC应努力创建一个开放和协作的研究环境,同时平衡保护技术中心的专有信息的需要。 商务部希望政府实体或计划也可以作为NSTC的附属技术中心,如以半导体制造为重点的美国制造研究所。由于建造新的制造设施的基础设施成本很高,商务部正在探索建立技术中心的几种选择。其中包括建设新设施、收购现有设施,或在NSTC与现有设施之间进行合作,并利用潜在的扩展和升级资金来满足所需的规格。 2. 数字资产:NSTC将寻求新的方法提高设计生态系统的灵活性,包括技术方法和合规管理。NSTC将通过建立基于云的设计支持门户(Design Enablement Gateway)作为半导体无晶圆厂研发的中心,确保IP可以安全共享;通过优先资助EDA和电路设计方面的研究,NSTC将加快新设计的流片时间,以减少代工厂启动新工艺所需的时间,并提高快速验证移植设计的能力。 数据集方面:NSTC将在收集、汇总和共享数据集方面发挥作用,以实现基准测试和运营改进、工具开发、数字孪生创建以及AI模型训练等。这些数据集根据明确的指导方针提供给NSTC成员,这可以大大缩短从电路设计概念到获得硅验证安全性IP的时间并降低成本。 专利方面:NSTC将制定规则和程序来保护其成员的知识产权,包括对知识产权披露、许可和使用的明确程序。作为激励措施,NSTC将努力以合理的成本向成员提供因NSTC资助而产生的知识产权,并促进成员之间适当的知识产权共享。 (三)劳动力计划 劳动力发展是CHIPS激励计划的优先发展事项。NSTC作为一个协调机构和卓越研究中心,将帮助扩大技术劳动力,并充分利用美国政府资助的半导体相关的劳动力计划。 为了实现这些目标,NSTC应该: 1. 与工业界、教育机构、政府机构和政府资助的研究机构合作,确定和推广始终满足行业需求的黄金标准教育模式、体验式学习和培训计划。 2. 创建一个信息交换所,针对教育、经验学习和劳动力培训计划中的研究、最佳实践和机会,进行广泛的收集和传播。 3. 推进半导体和微电子设计领域的职业拓展机会,包括来自弱势群体的个人。 4. 作为一个协作空间来解决产业劳动力的挑战,包括通过召集、调整资源或在产业需求出现时以其他方式提供支持等。 三、治理结构 美国商务部将与国防部合作,根据法案要求,通过公私联盟的方式建立NSTC。在整个半导体生态系统中,NSTC将被视为中立、可信和科学驱动的,其公信力将至关重要。因此,美国商务部将创建一个新的、有目的的、独立的、非营利的实体管理机构,该机构具有必要的中立性、专业知识和领导力以有效支撑NSTC的运营。 (一)运营模式 NSTC的管理结构应谨慎平衡各个公司的专有利益和群体利益。 1. NSTC将确定适当的项目组合及其执行方式,包括NSTC资助执行或联合资助执行。NSTC将采用多种方法来实现目标,包括:为合作项目提供资金、为成员和社区提供收费服务、召集会议活动以促进联合项目开发和路线图制定。 2. NSTC将根据利益相关者的意见建立一个技术中心网络。该网络应确保不同机构的有效集成和工作流程,并确保所有成员的可访问性。 3. NSTC应确定如何最好地聘请行业和教育机构的顾问,根据需要为技术项目、劳动力发展或其他活动提供意见。 (二)财务模式 美国商务部正在制定一种财务模式以指导NSTC的战略发展。《芯片法案》将拨款五年。美国商务部意在以这些资金作为催化剂,建立一个联盟,为未来的研究项目提供资金以应对长期战略挑战,并创建一个可以持续数十年的发展计划。财务模式将探索NSTC的潜在收入来源,并列举未来十年可能发生的成本,以确保满足国家需求的财务模式。NSTC的可能收入来源,除了美国商务部的资助外,还包括会员费、项目服务费、投资基金的回报、知识产权许可费、版税、州政府和地方政府的资助、其他联邦机构以及慈善事业的资助。
  • 《美国NIST发布《半导体和微电子标准》报告》

    • 来源专题:集成电路
    • 发布时间:2024-02-19
    • 2023年12月5日,美国国家标准技术研究院(NIST)发布《半导体和微电子标准》报告。该报告由机构间标准政策委员会(Interagency Committee on Standards Policy,ICSP)下属的半导体和微电子工作小组完成。报告概述了美国联邦政府的半导体和微电子标准活动,面向ICSP提出的“战略标准优先领域”问题,列出了当前美国政府参与的半导体和微电子标准制定的相关组织,确定了半导体和微电子标准领域五个重点领域和优先事项,最后分析了美国当前的发展差距和发展机遇。 一、当前美国政府参与半导体和微电子标准制定相关的组织 目前,美国联邦政府参与半导体和微电标准制定相关的组织包括: 1. 电子器件工程联合委员会(Joint Electronic Device Engineering Council, JEDEC); 2. 美国汽车工程师学会(Society of Automotive Engineers, SAE); 3. 美国印刷电路协会(Institute of Printed Circuits, IPC); 4. 国际电气与电子工程师协会(Institute of Electrical and Electronics Engineers, IEEE); 5. 美国静电放电协会(EOS/ESD Association, ESDA); 6. 美国材料与试验协会(American Society for Testing and Materials (ASTM) International); 7. 国际标准化组织(International Organization for Standardization,ISO); 8. 国际电工委员会(International Electrotechnical Commission,IEC); 9. 国际半导体产业协会(Semiconductor Equipment and Materials International, SEMI); 10. 国际半导体技术路线图(International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS); 11. 美国国家标准学会(American National Standards Institute, ANSI)。 二、半导体和微电子标准领域五个重点领域和优先事项 当前联邦政府认为与半导体和微电子标准相关的重要主题、重点领域和优先事项包括: 1. 供应链和安全。具体包括: (1)安全处理器。安全处理器是添加了加密电路和密钥管理机制以保护数据和软件免遭未经授权访问的处理器,也可能是一个针对侧信道攻击和物理篡改而设计和强化的协处理器。 (2)真品和赝品。假冒半导体元件是指其原产地或质量被故意歪曲的电子零件。假冒半导体元件可能会侵犯合法生产商的商标权。由于假冒半导体元件的规格和/或质量往往较差,如果将其纳入关键系统,可能会带来危险。 (3)可用性和稀缺性。由于消费者对电子产品的使用需求不断增加,全球对半导体的需求正在快速增长。然而由于多种因素,目前半导体仍供不应求。 (4)通用微电路仿真和高级微电路仿真。通用微电路仿真负责生产制造,高级微电路仿真负责开发和集成以支持未来技术需求。 2. 芯粒(Chiplets)。具体包括: (1)互连。在封装内实现多个专用、小型半导体器件之间的连接。 (2)封装。对于芯粒来说,封装是通过组合不同功能模块芯片来创建复杂集成电路的方法。 (3)互操作性。来自不同提供商的芯粒能够在系统内无缝协作。 3. 性能。具体包括: (1)设备或系统的运行特性,例如速度、功耗和可靠性。 (2)设备高效且有效地处理数据、执行计算和执行任务的能力。 4. 计量与测量科学。具体包括: (1)材料纯度和性能。需要新的计量方法来满足对半导体材料纯度、物理特性和来源日益严格的需求。 (2)未来微电子制造。未来的微电子制造涉及新的测量方法、数据、参考工件、模型和理论的开发,以实现更高的设备产量和可靠性、更低的成本、改进的制造工艺和性能。 (3)先进封装。先进封装是芯粒技术重点关注的领域。 5. 数字孪生。具体包括: (1)制造过程和设备管理。制造过程和设备管理是利用物理制造过程的虚拟模型来分析生产绩效,其使用来自传感器和其他来源的实时数据。 (2)质量控制。质量控制是确保现实世界产品或服务的虚拟模型满足预期要求,其使用来自传感器和其他来源的实时数据来创建物理产品或服务的动态副本,以用于预防和检测缺陷、减少浪费并提高客户满意度。 (3)供应链管理和保证。供应链管理和保证是使用现实世界供应链及其流程的虚拟模型,其使用来自传感器和其他来源的实时数据来创建物理供应链及其组件的动态副本,以帮助提高供应链的可见性、可追溯性、安全性和可持续性。 三、发展差距和发展机遇 除了当前的标准战略优先领域外,还有一些可被视为发展差距或发展机遇的领域。在这些领域,美国联邦政府目前参与很少或者没有参与。具体包括:(1)Chiplet开放标准和事实上的标准组织;(2)减少制造来源、解决材料短缺的问题;(3)政府-产业数据交换;(4)针对专用集成电路(ASIC)和现场可编程门阵列(FPGA)设计的第三方IP验证和校验。(5)微电子生命周期模型;(6)安全处理器标准;(7)资质认证,国防微电子学需要遵守比一般商业微电子学更高的标准;(8)过时产品,可以使用自下而上的真实数字模型来快速模拟和开发技术更新选项从而降低微电子组件过时的风险。