《ASML和IMEC 签署五年期战略合作协议 聚焦先进工艺研究》

• 来源专题：集成电路与量子信息
• 发布时间：2025-03-25
• 原文来源：https://www.asml.com/en/news/press-releases/2025/asml-and-imec-sign-strategic-partnership-agreement

据官网3月11日报道，荷兰光刻设备巨头阿斯麦（ASML）宣布与比利时微电子研究中心（IMEC）签署了一项新的 5 年期战略合作协议。这表明这对长期合作伙伴将继续在先进工艺和可持续发展领域发挥各自的知识和专长。

在半导体先进制程工艺方面，IMEC牵头建设的欧盟亚 2 nm 制程前沿节点NanoIC试验线将整合ASML的整个产品组合，包括 0.55 NA EUV、0.33 NA EUV、DUV浸没式光刻机、YieldStar光学计量仪和HMI单光束和多光束检测技术。双方还将在硅光子学、存储器和先进封装领域展开合作，为未来不同市场中基于半导体的人工智能应用提供全栈创新。

此外，ASML将为IMEC探索环境和社会效益的研究创新理念和活动提供资金支持。