据官网9月3日报道,SK海力士宣布已将量产型高数值孔径极紫外光刻机(High NA EUV)引进韩国利川M16工厂。此次引进的设备为荷兰ASML公司推出的TWINSCAN EXE:5200B,它是首款量产型High-NA EUV设备。与现有的EUV设备(NA 0.33)相比,其光学性能(NA 0.55)提升了40%,这一改进使其能够制作出精密度高达1.7倍的电路图案,并将集成度提升2.9倍。
SK海力士计划通过引进该设备,简化现有的EUV工艺,并加快下一代半导体存储器的研发进程,从而确保在产品性能和成本方面的竞争力。
原文链接:https://news.skhynix.com/sk-hynix-introduces-industrys-first-commercial-high-na-euv/