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《用于MOCVD晶圆载体表征测量的kSA Emissometer 获得紫外光致发光（UV PL）功能》

  • 来源专题：集成电路
  • 编译者： Lightfeng
  • 发布时间：2019-09-29

  • 为光电子行业提供测量仪器的k-Space Associates公司表示用于金属有机物化学气相沉积（MOCVD）载流子表征的kSA Emissometer 异位计量工具现在具有紫外光致发光（UV PL）功能，可以更好地评估载流子。

    新的UV PL功能使晶圆载体制造商、反应器制造商可以在使用前以及整个使用周期中进一步评估其晶圆载体。该系统使用晶片载体聚焦的365nm波长LED以及聚焦在激发点上的滤波光电探测器。滤光片会滤除波长小于409nm的光，这就产生了评估晶圆载体污染的能力。

    kSA Emissometer 用于确定沉积运行后载体烘烤的质量，并且定量确定实际表面发射率以进行温度设定点的调整和微裂纹检测。kSA Emissometer 还提供统计分析，以评估载体质量。

    首席执行官Darryl Barlett说：“这一工具使载体制造、反应器制造商拥有竞争优势，因为可以量化载体质量，最终提高设备的均匀性和产量。”

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    • 编译者：Lightfeng
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    • 编译者：Lightfeng
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