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《用水可开发壳聚糖生物技术和电子束光刻技术的50纳米线》

  • 来源专题：纳米科技
  • 编译者： 郭文姣
  • 发布时间：2017-11-04

  • 在电子束(电子束)光刻中使用的现有化学物质会产生安全和废物管理问题。为了取代它们，壳聚糖是一种天然而丰富的溶于水的溶液，它被认为是一种对两层电子束光刻技术的一种积极和水的抗蚀性，它是一种用二氧化硅蚀刻的掩膜。在壳聚糖膜上，通过电子束光刻技术成功地获得了50纳米线的图案，在160-300 c cm 2之间，然后通过CHF3等离子体反应离子蚀刻技术，将其转化为硅层。

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  • 《蚕丝蛋白纳米线采用电子束光刻技术》
    • 来源专题：纳米科技
    • 编译者：郭文姣
    • 发布时间：2018-06-21
    • 纳米制造技术在从有机生物电子学到细胞工程的应用中都很有用。特别是，以天然聚合物为基础的功能性材料为合成聚合物提供了可持续和环保的替代品。蚕丝蛋白(丝素和丝氨酸)由于具有优异的光学和机械性能、固有的生物相容性和生物降解性，已成为下一代生物材料的重要类别。然而，通过高吞吐量工具在纳米尺度上精确控制空间定位的能力仍然是一个挑战。在这项研究中，电子束光刻技术(EBL)被用来提供纳米尺度的模式，使用甲基丙烯酸酯结合丝蛋白，这是一种光活性'光刻胶'材料。非常低能量的电子束辐射可用于在纳米尺度和大面积上对丝状蛋白进行图案，因此无需使用专门的EBL工具就可以进行这种纳米结构的制作。值得注意的是，利用与这些丝蛋白结合的导电聚合物，可以显示出蛋白质纳米线的形成，其长度可达100纳米。这些金属丝可以通过酶降解很容易降解。因此，蛋白质可以精确地、可伸缩地模式化并与导电聚合物和酶掺杂，从而形成可降解的有机生物电子装置。 ——文章发布于2018年6月11日
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  • 《直接利用X射线和电子束光刻》
    • 来源专题：重大科技基础设施领域知识集成服务平台
    • 编译者：魏韧
    • 发布时间：2021-03-19
    • 得益于化学上的多功能性和高孔隙率，金属有机框架（MOF）在微电子学和光电子学领域具有产生颠覆性突破的潜力。例如，因多孔性产生的低介电常数（low-k）使MOF成为未来微芯片中高性能绝缘体的候选材料。MOF和微电子领域一直致力于将MOF集成到微芯片中，这需要两个关键的工程步骤：薄膜沉积和光刻图案化。传统的光刻技术使用牺牲层，即光致抗蚀剂或光刻胶，将图案转移到所需的材料中。光刻胶使工艺复杂化，并可能污染高孔隙率MOF膜。 比利时鲁汶大学的研究人员利用ELETTRA同步辐射实验室的深X射线光刻（DXRL）光束线证明，MOF可以在不使用抗蚀剂层的情况下，通过X射线直接光刻形成图案。 该方法基于对MOF膜的选择性X射线曝光引起化学变化，使其能够被普通溶剂去除。该工艺完全避免使用抗蚀剂层，显著简化图案化工艺，同时可保持图案化的MOF物理化学性质不变。在ELETTRA同步辐射实验室的小角度X射线散射光束线上进行的掠入射小角X射线散射表明，整个X射线光刻过程中，未受照射的MOF薄膜晶体结构保持不变。扫描电子显微镜图像确认掩模的特征在MOF薄层中高保真复制。研究人员将同样的方法推广到电子束光刻（EBL）中进一步提高分辨率，因为电子束引起的效应与X射线产生的光电子相似。所得到的高质量图案分辨率优于50nm，是迄今为止所报道的MOF的最小特征尺寸。 在固态器件中使用MOF，要求图案化不应改变它们的理化性质，特别是孔隙率。对MOF涂覆的石英晶体微平衡衬底的气体吸附研究说明MOF图案完全保留其孔隙率。MOF的孔隙吸附能力可集中分析物质，用于化学传感。该团队还展示了具有周期性结构的微图案MOF薄膜用作蒸汽检测的响应式衍射光栅的潜力。 XRL、EBL与微加工和纳米加工的兼容性，为MOF用于高性能电介质、选择性和灵敏度更高的传感器涂层、显示技术的发光像素等的潜力提供新的视角。未来，极紫外光刻可以加速这种结合，预计会出现与本研究报道相似的溶解度转换机制。
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