法国分子束外延机器制造商Riber SA 与Comptek Solutions Oy签署了一项商业合作协议,以开发联合技术解决方案,加速Kontrox技术向工业客户转移。Comptek于2017年从芬兰图尔库大学(University of Turku)分离出来,以其专利的Kontrox技术解决了III-Vs中的氧化问题。
基于III-V的器件一旦暴露于空气中,几乎会立即发生氧化形成非晶氧化物层,导致一系列缺陷,限制了器件的性能和制造良率。为了解决这个问题,Kontrox钝化工艺通过干式真空方法形成了一层稳定的晶体氧化物薄层,从而防止了非晶态氧化层的形成。与现有方法相比,Kontrox可以大大降低界面缺陷的密度,并提高III-V器件的效率和制造良率,包括高电子迁移率晶体管(pHEMT)和异质结双极晶体管(HBT)。这可以使设备在应用中变得更高效、更小,更可靠,如5G、面部识别、增强现实、虚拟现实和自动驾驶汽车等应用。
Kontrox还可以帮助开发下一代CMOS处理器,在该处理器中,栅极氧化物绝缘体与晶体管中的III-V材料之间的界面质量在CMOS操作中起着至关重要的作用。
该技术还能提高光电设备的性能、效率、亮度和使用寿命,例如微型和微型LED、大功率激光器、垂直腔表面发射激光器(VCSEL)和红外传感器。
通过这种合作,可以根据用户需求定制和优化用于部署Kontrox技术的设备规格,这将促进技术工业化,其特色是专门为Kontrox开发的过程控制。