据今日半导体6月15日报道，RIBER是服务于半导体行业的分子束外延（MBE）设备的全球市场领导者，它宣布向RIBER的长期客户IntelliEPI交付世界上最大的MBE机器-第一个MBE 8000系统。该交货是用于超高性能垂直腔表面发射激光器（VCSEL）应用的Epi晶片制造设备销售协议的一部分。
由于基于VCSEL的器件是通过基板表面发射的，因此可以将它们制造成具有高密度发射器阵列的器件。这些组件正逐步取代传统激光器，成为从消费类电子产品到医疗保健，汽车和电信等各个领域的3D检测（智能手机上的面部识别）或运动控制等不断增长的应用领域的基准技术。
与其他技术相比，RIBER的MBE技术具有一系列优势。这种产生非常突然的界面的能力与非常精确的剂量控制相结合，可以提高沉积的半导体膜的质量，增强的导电性和更强的激光器性能。为了满足具有更高晶圆均匀性的高性能外延晶圆制造所需的更大生产能力的MBE平台，RIBER开发了新的MBE 8000生产系统。
全自动MBE 8000利用超高真空沉积技术。该机器是多晶片反应器，能够同时生长多达八个150毫米的晶片，并提供了过渡到200毫米晶片的可能性。该机器可以生产VCSEL和其他器件结构，并可以精确控制到原子单层精度，并且膜厚均匀性远低于1％的水平，从而产生了无与伦比的输出。
对于IntelliEPI，MBE 8000系统将进一步增强其外延能力。
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