自然于2021年3月10日发布关于纳米制造的内容，文章指出光学超表面作为廉价、轻量化光学元件的替代品，已经引起了人们的极大期望。近年来，结合多种光学功能的新型光学元件的提出，进一步推动了对光学元件制造精度的要求。在这项工作中，我们详细研究了最常见的加工误差对超表面光学响应的影响，并在广泛的数值模拟的基础上定量地评估了加工误差的容忍度。我们通过一种基于硅纳米谐振器的超表面的设计、制造和表征来说明这些结果，该超表面在近红外范围内作为光束偏转器工作。
