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Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
EISBN：9789401003537
PISBN：9781402005244
出版社：Springer Netherlands
出版类型：Contributed volume
出版时间：2002
版次：2002
作者：Y. Pauleau
主题词：Materials Science,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Physical Chemistry,Industrial Chemistry,Chemical Engineering
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：NATO Science Series II: Mathematics, Physics and Chemistry
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