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Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
EISBN：9789401003537
PISBN：9781402005251
出版社：Springer Netherlands
出版类型：Contributed volume
出版时间：2002
作者：Yves Pauleau
主题词：Surfaces and Interfaces,Thin Films,Physical Chemistry,Industrial Chemistry/Chemical Engineering
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：NATO Science Series
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