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射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
PISBN：9787030389961
出版类型：专著
出版时间：2014-01-01
版次：1
作者：张海霞，缪旻，东方明
学科：电子与通信技术
语种：中文
所属数据库：科学文库
丛书题名：微纳制造的基础研究学术著作丛书
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