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微机电系统(MEMS)制造技术
PISBN：9787030399748
出版类型：专著
出版时间：2014-03-01
版次：1
作者：苑伟政，乔大勇著
学科：动力与电气工程
语种：中文
所属数据库：科学文库
丛书题名：微纳制造的基础研究学术著作丛书
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