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Materials & Process Integration for MEMS
EISBN：9781475757910
PISBN：9781402071751
出版社：Springer US
出版类型：Contributed volume
出版时间：2002
版次：2002
作者：Francis E. H. Tay
主题词：Materials Science,Characterization and Evaluation of Materials,Classical Mechanics
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：Microsystems
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