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MEMS Materials and Processes Handbook
EISBN:
9780387473185
PISBN:
9780387473161
出版社:
Springer US
出版类型:
Reference work
出版时间:
2011
作者:
Reza Ghodssi,Pinyen Lin
主题词:
Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Materials Science,general,Circuits and Systems,Surfaces and Interfaces,Thin Films
语种:
英语
所属数据库:
SpringerLink电子图书
丛书题名:
MEMS Reference Shelf
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Springer US
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