MEMS Materials and Processes Handbook

EISBN:9780387473185
PISBN:9780387473161
出版社:Springer US
出版类型:Reference work
出版时间:2011
作者:Reza Ghodssi,Pinyen Lin
主题词:Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Materials Science,general,Circuits and Systems,Surfaces and Interfaces,Thin Films
语种:英语
所属数据库:SpringerLink电子图书
丛书题名:MEMS Reference Shelf
相关推荐

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

  • 作者:Lindroos,Veikko
  • PISBN:9780323299657
  • 出版时间:2015

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Third Edition)

  • 作者:Tilli;Markku
  • EISBN:9780128177860
  • 出版社:Elsevier
  • 出版时间:2020

Handbook of Silicon Based MEMS Materials & Technologies

  • 作者:Lindroos,Veikko
  • PISBN:9780815515944
  • 出版时间:2010

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

  • 作者:Tilli,Markku
  • PISBN:9780128177860
  • 出版时间:2020

Handbook of Mems for Wireless and Mobile Applications

  • 作者:Uttamchandani,D
  • PISBN:9780857092717
  • 出版时间:2013

Materials & Process Integration for MEMS

  • 作者:Francis E. H. Tay
  • EISBN:9781475757910
  • 出版社:Springer US
  • 出版时间:2002