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MEMS Materials and Processes Handbook
EISBN：9780387473185
PISBN：9780387473161
出版社：Springer US
出版类型：Reference work
出版时间：2011
作者：Reza Ghodssi,Pinyen Lin
主题词：Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Materials Science,general,Circuits and Systems,Surfaces and Interfaces,Thin Films
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：MEMS Reference Shelf
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