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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Third Edition)
EISBN：9780128177860
PISBN：9780128177860
出版社：Elsevier
出版类型：专著
出版时间：2020
作者：Tilli;Markku
主题词：Materials Science (General)
学科：Materials Science 2020
语种：英语
所属数据库：Elsevier电子图书
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