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Modelling of Microfabrication Systems
EISBN：9783662087923
PISBN：9783540002529
出版社：Springer Berlin Heidelberg
出版类型：Monograph
出版时间：2003
版次：2003
作者：Raja Nassar,Weizhong Dai
主题词：Engineering,Nanotechnology and Microengineering,Numerical Analysis,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Nanotechnology
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：Microtechnology and MEMS
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