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The Physics of Microfabrication
EISBN：9781489921604
PISBN：9780306408632
出版社：Springer US
出版类型：Contributed volume
出版时间：1982
版次：1982
作者：Ivor Brodie,Julius J. Muray
主题词：Engineering,Electrical Engineering,Optical and Electronic Materials
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
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