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Nanolithography
EISBN：9789401582612
PISBN：9780792327943
出版社：Springer Netherlands
出版类型：Contributed volume
出版时间：1994
版次：1994
作者：M. Gentili,Carlo Giovannella,Stefano Selci
主题词：Physics,Condensed Matter Physics,Solid State Physics,Spectroscopy and Microscopy,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Electrical Engineering
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：Nato Science Series E:
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  • 出版社：Springer Netherlands
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