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NANOLITHOGRAPHY: A Borderland between STM, EB, IB, and X-Ray Lithographies
EISBN：9789401582612
PISBN：9789048143887
出版社：Springer Netherlands
出版类型：Contributed volume
出版时间：1994
作者：M. Gentili,C. Giovannella,S. Selci
主题词：Solid State Physics,Spectroscopy and Microscopy,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Electrical Engineering
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：NATO ASI Series
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