登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

浸没式光刻中显影缺陷模型的研究
出版社：中国科学院大学微电子学院
出版年：2019
作者：马玲
资源类型：图书
细分类型：中文文献
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立与仿真验证
  • 作者：管文超
  • 出版年：2015
...

ArF浸没光刻双工件台运动模型研究
  • 作者：胡松
  • 出版年：2013
...

极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究
  • 作者：刘晓雷
  • 出版年：2015
...

极紫外光刻掩模缺陷检测与补偿技术研究
  • 作者：成维
  • 出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 出版年：2022
...

基于陷阱缺陷CCD的转移模型研究
  • 作者：闫晓鹏
  • 出版社：中国科学院上海技术物理研究所
  • 出版年：2023
...

紫外自成像光刻及其缺陷修复效应研究
  • 作者：邓茜
  • 出版年：2017