登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立与仿真验证
出版年：2015
作者：管文超
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究
  • 作者：刘晓雷
  • 出版年：2015
...

极紫外光刻掩模缺陷检测与补偿技术研究
  • 作者：成维
  • 出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 出版年：2022
...

三维极紫外光刻掩模建模及缺陷补偿技术研究
  • 作者：张恒
  • 出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 出版年：2019
...

极紫外掩模缺陷仿真及图像处理
  • 作者：季艺雯
  • 出版社：中国科学院微电子研究所
  • 出版年：2022
...

基于卷积的极紫外光刻空间像快速仿真模型研究
  • 作者：景旭宇
  • 出版社：中国科学院大学集成电路学院
  • 出版年：2022
...

极紫外光刻三维掩模成像研究
  • 作者：张子南
  • 出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 出版年：2022