线扫式光谱共焦位移传感器关键技术研究

线扫式光谱共焦位移传感器关键技术研究

出版社：中国科学院西安光学精密机械研究所

出版年：2024

作者：杨伟光

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

光谱式MEMS气敏传感器的设计及关键结构制作技术研究

作者：高超群
出版年：2011

基于光谱共焦法的微位移在线检测技术研究

作者：马敬
出版社：中国科学院光电研究院
出版年：2019

二极管型热传导式真空传感器关键技术研究

作者：瞿帆
出版社：中国科学院微电子研究所
出版年：2023

7MPa谐振式MEMS压力传感器关键技术研究

作者：项超
出版社：中国科学院空天信息创新研究院
出版年：2022

非共面叉指电容式MEMS气压传感器关键技术研究

作者：刘振宇
出版年：2021

水下分布式传感器网络信号处理关键技术研究

作者：吴小潭
出版年：2018