登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

7MPa谐振式MEMS压力传感器关键技术研究
出版社：中国科学院空天信息创新研究院
出版年：2022
作者：项超
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究
  • 作者：曹明威
  • 出版年：2013
...

谐振式MEMS压力传感器温度补偿系统研究
  • 作者：余佳荣
  • 出版年：2014
...

谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究
  • 作者：张健
  • 出版年：2013
...

静电激励/压阻检测谐振式压力传感器芯片关键技术研究
  • 作者：侍小青
  • 出版社：中国科学院电子学研究所
  • 出版年：2019
...

基于SOI背孔线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究
  • 作者：邢永豪
  • 出版年：2016
...

静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究
  • 作者：谢波
  • 出版年：2016