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EUV sources for lithography
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE Press, c2006.
ISBN：0819458457
出版年：2006
作者：Bakshi,Vivek
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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EUV lithography
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EUV, x-ray, and neutron optics and sources
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Extreme ultraviolet (EUV) lithography VIII : 27 February - 2 March 2017, San Jose, California, Unite
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  • 出版社：Bellingham, Washington : SPIE, 2017.
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Extreme ultraviolet (EUV) lithography VII : 22-25 February 2016, San Jose, California, United States
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Extreme ultraviolet (EUV) lithography IV : 25-28 February 2013, San Jose, California, United States.
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Advances in mirror technology for x-ray, EUV lithography, laser and other applications : 7-8 August
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2004.
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