登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

Plasma etching in semiconductor fabrication
出版社：Amsterdam ; New York : Elsevier, 1985.
ISBN：0444424199
出版年：1985
作者：Morgan,Russ A.,
资源类型：图书
细分类型：西文文献
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

Plasma Etching in Semiconductors Fabrication
  • 作者：Russ A. Morgan
  • ISBN：0444424199
  • 出版社：Amsterdam : Elsevier, 1985.
  • 出版年：1985
...

Plasma sources for thin film deposition and etching
  • 作者：Francombe,Maurice H.
  • ISBN：0125330189
  • 出版社：San Diego, Calif. : Academic Press, Inc., c1994.
  • 出版年：1994
...

Plasma etching processes for interconnect realization in VLSI
  • 作者：Posseme,Nicolas,
  • ISBN：9781785480157
  • 出版社：London : ISTE Press ; Oxford : Elsevier Ltd, 2015.
  • 出版年：2015
...

Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
  • 作者：Chapman,Brian N.
  • ISBN：047107828X
  • 出版社：New York : Wiley, 1980.
  • 出版年：1980
...

Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
  • 作者：Chapman,Brian.
  • ISBN：0000000000
  • 出版社：New York : Wiley, 1980.
  • 出版年：1980
...

Atomic layer processing : semiconductor dry etching technology
  • 作者：Lill,Thorsten.
  • ISBN：9783527346684
  • 出版社：Weinheim, Germany : Wiley-VCH, 2021.
  • 出版年：2021