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MEMS/MOEMS components and their applications II : 24-25 January 2005 San Jose California USA
出版社：
Bellingham, Wash. : SPIE, c2005.
ISBN：
0819456918
出版年：
2005
作者：
Henning,Albert Karl.
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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2007
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