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Optical microlithography XVII : 24-27 February 2004 Santa Clara California USA
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering, c2004.
ISBN：0819452904
出版年：2004
作者：Smith,Bruce W.,
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • ISBN：0819417882
  • 出版社：Santa Clara,California, USA: SPIE-The International Society for Optical Engineering, 1995.
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