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Optical microlithography XIV : 27 February-2 March 2001 Santa Clara USA
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2001.
ISBN：0819440329
出版年：2001
作者：Progler,Christopher J.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Optical microlithography XIV : 27 Feb.-2 Mar. 2001, Santa Clara, USA
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Optical microlithography XX : 27 February-2 March 2007, San Jose, California, USA.
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2007.
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Optical microlithography XVII : 24-27 February 2004, Santa Clara, California, USA
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Emerging lithographic technologies V : 27 February-1 March 2001, Santa Clara, USA
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  • ISBN：0819440299
  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2001.
  • 出版年：2001
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Advances in resist technology and processing V : 29 February-2 March, 1988, Santa Clara, California
  • 作者：MacDonald,Scott A.
  • ISBN：88060780
  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : International Society for Optical Engineering, 1988.
  • 出版年：1988
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Advances in resist technology and processing V : 29 February-2 March, 1988, Santa Clara, California
  • 作者：MacDonald,Scott A.
  • ISBN：88060780 74
  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : International Society for Optical Engineering, 1988.
  • 出版年：1988