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Micromachined devices and components V : 20-21 September 1999 Santa Clara California
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c1999.
ISBN：0819434736
出版年：1999
作者：French,Patrick J.,
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Micromachined devices and components V
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2000.
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