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Micromachined devices and components V
出版社：Bellingham : SPIE, 1999.
ISBN：0819434736
出版年：1999
作者：French,P. J.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Micromachined devices and components V : 20-21 September, 1999, Santa Clara, California
  • 作者：French,Patrick J.,
  • ISBN：0819434736
  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c1999.
  • 出版年：1999