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Micro electro mechanical systems : an investigation of micro structures sensors actuators machine
出版社：
N.Y. : IEEE, c1990
出版年：
1990
作者：
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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Micro electro mechanical systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machine
作者：
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
ISBN：
0879426411
出版社：
N.Y. : IEEE, 1991
出版年：
1991
Micro electro mechanical systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machine
作者：
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
ISBN：
22.00
出版社：
N.Y. : IEEE, c1990
出版年：
1990
Micro electro mechanical systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machine
作者：
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
ISBN：
0879426411 087942642X 0879426438
出版社：
N.Y. : IEEE, 1991
出版年：
1991
IEEE micro electro mechanical systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, ma
作者：
Benecke,W.
ISBN：
0780304977
出版社：
[New York] : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1992.
出版年：
1992
IEEE micro electro mechanical systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, ma
作者：
IEEE Robotics and Automation Society.
ISBN：
087942642X
出版社：
New York : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c1991.
出版年：
1991
An Investigation of Micro Structures,Sensors,Actuators,Machines and Systems
作者：
IEEE Interenationsl Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (
ISBN：
0780329864
出版社：
Piscataway : IEEE, 1996.
出版年：
1996
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