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An Investigation of Micro Structures Sensors Actuators Machines and Systems
出版社：
Piscataway : IEEE, 1996.
ISBN：
0780329864
出版年：
1996
作者：
IEEE Interenationsl Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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N.Y. : IEEE, 1991
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1991
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