金刚石薄膜的制备及其等离子体参数研究

金刚石薄膜的制备及其等离子体参数研究

出版年：1990

作者：高克林

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

ECRPCVD制备类金刚石薄膜及ECR等离子体状态的研究

作者：汪学毅
出版年：1992

基于新型MPCVD装置在面向等离子体部件表面制备金刚石薄膜及其性能研究

作者：耿传文
出版社：中国科学技术大学
出版年：2022

磁约束等离子炬装置研制及制备金刚石薄膜研究

作者：王守国
出版年：1997

微波等离子体CVD法制备金刚石膜的研究

作者：舒兴胜
出版年：2002

微波等离子体CVD制备高质量金刚石膜及应用的研究

作者：满卫东
出版年：2006

功能化金刚石薄膜制备及其应用研究

作者：赵建文
出版年：2008